[发明专利]一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置有效

专利信息
申请号: 201010594287.7 申请日: 2010-12-19
公开(公告)号: CN102069201A 公开(公告)日: 2011-05-25
发明(设计)人: 周晓勤;段宁华;林洁琼;刘强 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: B23B25/06 分类号: B23B25/06
代理公司: 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 代理人: 魏征骥
地址: 130022 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 自由 曲面 精密 车削 自由度 动态 误差 抵消 装置
【说明书】:

技术领域

发明属于超精密加工和复杂曲面光学零件加工技术领域,涉及一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置。

背景技术

利用动态误差抵消方法,可提升现行超精密车床的加工精度和表面质量。迄今为止,自由曲面超精密车削的误差抵消主要是针对低频误差(静态或拟静态误差),针对中低频或中高频动态误差的还较少,而且在这些技术方案中基本上都是利用单自由度的误差抵消装置。在自由曲面超精密车削中,所产生的刀具与工件之综合误差不仅依赖于回转轴和平移轴的位置坐标,而且还依赖机床温升等因素,这使得综合误差具有中低频或中高频动态特征、以及非回转对称性;刀具与工件之综合误差不仅在Z轴上有投影分量,在X轴上也有大小相当的投影分量,这使得现行的单自由度误差抵消装置难以满足实际自由曲面超精密车削的主动误差抵消要求。

自由曲面超精密车削的动态误差抵消装置,其主要的性能要求是:(1)具有中低频或中高频响、高精度和适当的冲程等特性;(2)在X轴和Z轴之间的运动必须是独立、解耦的,并且X轴或Z轴之误差抵消不应该在其它的方向上产生附加或寄生的运动。

尽管在其它的精密制造领域,已有关于两轴或多轴运动伺服装置的报道,但还不能直接适用于自由曲面超精密车削的动态误差抵消。这些多轴运动伺服装置尚不满足自由曲面超精密车削动态误差抵消装置的性能要求,其最为主要的缺陷是:(1)两个轴之间是运动耦合的,这使得这两个轴的驱动控制非常困难;(2)在某个轴上的运动将在其它的方向上产生附加或寄生的运动,而为了消除这些附加或寄生的运动,不得不在这些产生寄生运动的方向上施加额外的驱动补偿,这将使得误差抵消装置的设计制造复杂、整体精度和带宽降低。

还需指出的是:即使是有慢速溜板伺服的多轴超精密车床,也不适合中低频或中高频动态误差抵消,这主要因为慢速溜板伺服的往复运动频率太低。现行的有慢伺服轴的多轴超精密车床,其往复运动频率也就能达到几个赫兹。

发明内容

本发明提供一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置,以解决多轴运动伺服装置尚不满足自由曲面超精密车削动态误差抵消装置性能要求的问题。

本发明采取的技术方案是:左侧板、右侧板和前盖板分别与基座、上盖板固定连接,两自由度柔性铰链机构通过螺栓与基座定位固定连接,金刚石刀具与两自由度柔性铰链机构固定连接,X向压电执行器通过X向U型块分别与两自由度柔性铰链机构中的左立柱、右立柱上的U型槽、用X向预紧螺钉固定连接;Z向压电执行器一、Z向压电执行器二分别通过Z向U型块一、Z向U型块二、与两自由度柔性铰链机构中X向运动平台后部的两个U型槽、用Z向预紧螺钉一、Z向预紧螺钉二固定连接,传感器支架与两自由度柔性铰链机构后部左侧或右侧固定连接,X向电容位移传感器与传感器支架上的圆孔固定连接,其测头正对X向运动平台, Z向电容位移传感器与柔性铰链机构中X向运动平台后部的圆孔固定连接,其测头正对Z向运动平台。

本发明的一种实施方式是:两自由度柔性铰链机构是一个 “H型”整体结构,分为左、中、右三部分,其中左侧部分的左立柱分别通过柔性铰链上连接、柔性铰链下连接和X向左导向动臂铰接;右侧部分的右立柱分别通过柔性铰链上连接、柔性铰链下连接和X向右导向动臂铰接;中间部分是X向运动平台,其左端分别通过左上柔性铰链、左下柔性铰链与与X向左导向动臂铰接,其右端分别通过右上柔性铰链、右下柔性铰链与X向右导向动臂铰接;该X向运动平台上有通过线切割在直接加工而成的Z向运动机构。

本发明的一种实施方式是:所述的Z向运动机构是由Z向运动平台通过柔性铰链一、柔性铰链二、柔性铰链三、柔性铰链四与其两侧和导向动臂铰接、并通过柔性铰链五、柔性铰链六、柔性铰链七、柔性铰链八与其后部一组杠杆放大机构铰接;该组杠杆放大机构的支点分别为可以产生微转动的柔性铰链九、柔性铰链十,杠杆放大机构的输入端分别通过柔性铰链十一、柔性铰链十二与杠杆放大机构铰接。

所述的柔性铰链机构可产生X、Z两个方向的误差补偿运动,利用X轴压电执行器驱动X轴运动平台,并通过双稳态的柔性铰链导向部分实现X轴无侧向位移的误差补偿运动;利用Z轴压电执行器分别同时作用于杠杆放大机构的输入端,依靠Z向导向机构导向,将放大后的直线位移准确传递到金刚石刀具上,从而实现Z轴无侧向位移的误差补偿运动。X轴和Z轴的运动是解耦的,运动中也不会产生摩擦和磨损,可大大提高运动精度和使用寿命。

所述的X轴、Z轴两个电容位移传感器分别用于检测柔性铰链机构的X轴和Z轴所产生的微位移,为X轴压电执行器和Z轴压电执行器的闭环控制分别提供反馈信号。

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