[发明专利]等离子显示屏前面板的制作方法

权利要求书

1.一种等离子显示屏前面板的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

1）蒸镀ITO膜：将前面板玻璃清洗后放入真空镀膜机中，使用靶材蒸镀得到130-160nm厚度的ITO膜；

2）蒸镀Cr、Cu、Cr层：将具有ITO膜层的前面板放入真空镀膜机中，在150～250℃下使用Cr靶材蒸镀底层Cr，得到厚度为0.04-0.06μm厚度的薄膜层；然后使用Cu靶材蒸镀中间层Cu，得到厚度为2-4μm厚度的薄膜层；再使用Cr靶材蒸镀上层Cr，得到厚度为0.1μm的薄膜层；

3）Pr感光胶涂敷、曝光、显影：将具有ITO膜和Cr/Cu/Cr膜四层涂层的前面板在0.1-0.2Mpa的压力下涂敷Pr感光胶，在70-80℃的炉温下进行干燥，得到厚度为5-20μm的连续的Pr胶层；在曝光机内通过母版对玻璃基板上的Pr胶层进行曝光，曝光量为60-150mJ/cm²、曝光间隙为250-400μm；然后在浓度为0.4%、温度为25-35℃的Na₂CO₃溶液下、在0.6-0.8Kg/cm²的压力下进行显影，显影后经过水洗、再经过UV固化，得到具有Pr胶的图形；

4）刻蚀：先使用浓度为14wt%、温度为35℃的HCl刻蚀液对上层Cr进行刻蚀，接着使用浓度为3.9wt%、温度为30℃的FeCl₃刻蚀液对中间层Cu进行刻蚀，然后使用浓度为4wt%的KMnO₄和浓度为6wt%的Na₂SiO₃、温度为40℃的刻蚀液对下层Cr进行刻蚀，最后使用浓度为18wt%的HCl和浓度为11wt%的FeCl₃、温度为45℃的刻蚀液对ITO层进行刻蚀；最后使用浓度为12-14wt%、温度为40℃的NaOH剥膜液剥掉Pr胶层，同时得到ITO电极和BUS电极；

5）涂敷介质层：刻蚀完毕的前面板经过清洗，在上面涂敷50μm厚度的前介质浆料，在150℃的温度下保温20-30min进行干燥，然后在600-620℃的烧结温度下进行烧结，烧结后得到第一层介质；再在烧结后的第一层介质上涂敷50μm厚度的前介质浆料，在150℃的温度下保温20-30min进行干燥，最后在550-570℃下进行烧结，从而得到满足厚度要求的透明介质层；

6）蒸镀MgO层：将经过清洗的前面板玻璃放入MgO镀膜机真空室中，在220-250℃的温度下蒸镀MgO层，得到满足厚度要求的MgO层；蒸镀完毕后二次喷涂MgO，得到满足覆盖率要求的二次MgO层。

2.根据权利要求1所述的等离子显示屏前面板的制作方法，其特征在于：在蒸镀ITO膜时使用的靶材是由In₂O₃和SnO₂烧结而成的靶材。

3.根据权利要求1所述的等离子显示屏前面板的制作方法，其特征在于：所述Pr感光胶为同时具有耐HCl+FeCl₃混合液和KMnO₄+Na₂SiO₃混合液刻蚀的能力。

4.根据权利要求1所述的等离子显示屏前面板的制作方法，其特征在于：所述母版能同时满足ITO电极和Cr/Cu/Cr电极的制作。