[发明专利]等离子显示屏前面板的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子显示屏的制作方法，特别是涉及一种等离子显示屏前面板的制作方法。

背景技术

目前主流等离子显示屏均采用三电极表面放电型结构，主要由前面板和后面板经过各种图形的制作，最后经过对合封排形成显示屏。在前面板上制作有ITO电极和BUS电极，然后在电极上面制作透明介质层，再在介质层上面蒸镀MgO层。在后面板上制作有和前面板上放电电极互相垂直的ADD电极，ADD电极完成烧结后在上面制作后介质，然后在后介质上面涂敷RIB浆料，经过干燥、贴膜、曝光、显影、喷砂，形成RIB图形，最后在RIB槽里印刷RGB三色荧光粉。在面板上涂敷封接框，在对合机下进行前后面板的精确对合，然后进行封排，充入一定比例的Xe+Ne工作气体。

现有的采用光刻法制作等离子显示屏前面板的制作过程如下：

1）前面板玻璃经过清洗，蒸镀ITO膜；再在ITO膜上涂敷Pr胶，经过干燥，然后在一定曝光量下进行曝光，曝光后进行显影、水洗、干燥，在刻蚀液下进行ITO图形的刻蚀，最后进行剥膜，去掉Pr胶层，得到ITO电极图形。

2）经过清洗的玻璃基板在真空镀膜机中蒸镀Cr层、蒸镀Cu层、蒸镀Cr层，蒸镀完成后得到Cr/Cu/Cr剥膜层。蒸镀完成的前面板玻璃上涂敷Pr胶，经过干燥，然后在一定曝光量下进行曝光，曝光后进行显影、水洗、干燥，然后分别在三种不同的刻蚀液下分别刻蚀Cr层、Cu层、Cr层，最后进行剥膜，去掉Pr胶层，得到Cr/Cu/Cr BUS电极图形。

3）经过清洗的带有Cr/Cu/Cr电极的前面板，涂敷一层介质浆料，经过干燥后进行烧结；再涂敷第二层介质浆料，经过干燥后进行第二层介质烧结；烧结完后得到透明介质层。

4）经过清洗的前面板玻璃在真空蒸镀MgO层，蒸镀完毕后喷涂二次MgO，至此完成前面板的制作。

5）完成前面板所有图形及图层制作后，和已经制作好的后面板进行对合；然后投入封排炉中进行封接排气，充入一定比例的Xe+Ne工作气体。

6）最后在老炼台上进行屏的老炼，进行点灯检查等工序。

由于现有技术中采用了ITO电极和BUS电极分别制作，使用不同Pr胶完成曝光显影刻蚀工序，最终得到前面板的显示电极。每块屏制作时ITO电极的制作要使用ITO母版进行曝光显影，然后进行刻蚀得到ITO电极，BUS电极制作要使用BUS母版进行曝光显影，然后再分别使用不同的刻蚀液进行上层Cr刻蚀、中间层Cu刻蚀、下层Cr刻蚀，最终得到Cr/Cu/Cr制作的BUS电极。

在产品制作时，这样的工艺技术不但工序时间长，要反复进行曝光显影进而进行刻蚀，才能得到ITO电极图形和BUS电极图形；而且在设备、材料的应用上也造成了极大的浪费，需要两台曝光设备、两台显影干燥设备，再加上重复的水洗工序造成设备的浪费，材料方面要反复进行涂敷2次Pr胶，使用相同浓度的显影液进行显影，造成材料使用上的极大浪费；同时在BUS电极曝光时要和已经制作好的ITO电极进行精确对位，随着显示屏分辨率的提高对对位的要求也越来越精确，对设备的要求也越来精确，制作的难度也较大，如果出现ITO和BUS电极对位偏差大，会造成良品率的降低；对位偏差还容易使制作的电极、黑条图形出现位置偏差影响显示屏的亮度、对比度，在电压特性上也影响显示屏的特性，使显示质量变差，画面质量差，导致屏放光效率等方面也会相应的降低。综上，现有工艺技术工艺繁琐，设备投入成本和材料消耗成本高，造成前面板的制作成本高，从而导致了显示屏的制作成本高，生产效率低下。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺点，本发明提供了一种等离子显示屏前面板的制作方法，能简化前面板的制作工序、减少设备投资、降低材料消耗，提高显示屏生产效率，同时也能提高电极对位精度和等离子显示屏的画质，降低显示屏生产成本。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子显示屏前面板的制作方法，包括以下步骤：

1）蒸镀ITO膜：将前面板玻璃清洗后放入真空镀膜机中，使用靶材蒸镀得到130-160nm厚度的ITO膜；

2）蒸镀Cr、Cu、Cr层：将具有ITO膜层的前面板放入真空镀膜机中，在150～250℃下使用Cr靶材蒸镀底层Cr，得到厚度为0.04-0.06μm厚度的薄膜层；然后使用Cu靶材蒸镀中间层Cu，得到厚度为2-4μm厚度的薄膜层；再使用Cr靶材蒸镀上层Cr，得到厚度为0.1μm的薄膜层；