[发明专利]被覆件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种被覆件及其制造方法。

背景技术

现有的镁、镁合金、铝或铝合金等低熔点材料的成型模具的材质通常为不锈钢。然而，在高温氧化性环境中，不锈钢基体表面易形成疏松的氧化铬(Cr₂O₃)层；当温度逐渐升高，Cr₂O₃层变得不稳定并开始分解，使得不锈钢基体内部F e、Ni等金属离子向Cr₂O₃层扩散，引起Cr₂O₃层出现裂纹、剥落等氧化失效现象，大大降低了不锈钢基体的高温抗氧化性。

此外，所述Cr₂O₃层的形成将使成型模具表面变得粗糙，如此将影响成型产品的外观、降低成型产品的良率，同时也会缩短成型模具的使用寿命。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种能较好的解决上述问题的被覆件。

另外，还提供上述被覆件的制造方法。

一种被覆件，包括基体、依次形成于基体上的铬层、氮氧化铬层及氧化铝层。

一种被覆件的制造方法，包括以下步骤：

提供基体；

以铬靶为靶材，于基体上磁控溅射铬层；

以铬靶为靶材，以氮气及氧气为反应气体，于铬层上磁控溅射氮氧化铬层；

以铝靶为靶材，以氧气为反应气体，于氮氧化铬层上磁控溅射氧化铝层。

本发明被覆件的制造方法，在基体上通过磁控溅射镀膜法依次形成铬层、氮氧化铬层及氧化铝层。所述铬层及氮氧化铬层的形成，可有效提高所述基体的高温抗氧化性；所述氧化铝层的形成可防止所述氮氧化铬层被刮伤，从而使所述被覆件10具有良好的耐磨性。

此外，当被覆件为用于成型镁、镁合金、铝或铝合金等低熔点材料的成型模具时，所述被覆件高温抗氧化性的提高，可提高成型产品的良率，还可延长被覆件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例的被覆件的剖视图；

图2为制造图1中镀膜件所用真空镀膜机的示意图。

主要元件符号说明

被覆件            10

基体              11

铬层              13

氮氧化铬层        15

氧化铝层          17

镀膜机            100

镀膜室            20

真空泵            30

轨迹              21

第一靶材          22

第二靶材          23

气源              24

具体实施方式

请参阅图1，本发明一较佳实施例的被覆件10包括基体11、依次形成于基体11上的铬层13、氮氧化铬(CrON)层15及氧化铝(Al₂O₃)层17。

所述基体11的材质为不锈钢、模具钢或高速钢等。

所述被覆件10可为用于成型镁、镁合金、铝或铝合金等低熔点材料的成型模具。

所述铬层13、CrON层15及Al₂O₃层17可分别通过磁控溅射镀膜法形成。

所述铬层13的厚度为100～200nm。

所述CrON层15的厚度为0.5～1μm。所述CrON层15中铬元素的质量百分含量为40％～60％，氧元素的质量百分含量为30％～50％，氮元素的质量百分含量为5％～15％。

所述Al₂O₃层17的厚度为0.3～0.5μm。

请一并参阅图2所示，本发明一较佳实施例的被覆件10的制造方法主要包括如下步骤：

提供一基体11。该基体11可以通过冲压成型得到。

对该基体11进行预处理。该预处理可包括常规的对基体11进行化学除油、除蜡、酸洗、超声波清洗及烘干等步骤。

提供一镀膜机100，将所述基体11置于该镀膜机100内，采用磁控溅射镀膜法依次于基体11上形成铬层13、CrON层15及Al₂O₃层17。