[发明专利]钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201010600151.2 | 申请日： | 2010-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102051598A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 毛启明;牟海川;姜来新 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/06;C23C16/34 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 纳米 复合 硬质 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法，将经过清洗干燥的工件放入原子层沉积设备的成膜室中，在100～200℃的条件下，沉积一层厚度为80～200nm的钛薄膜，并降至室温；取出工件放入浓度为0.05mol/L氢氟酸和0.01mol/L的硝酸混合溶液中，超声浸泡0.5～2分钟，清洗工件表面并干燥，利用原子层沉积的方法，在温度为150～280℃的条件下，在工件表面沉积一层厚度为50～150nm厚的氮化钛薄膜。
2.根据权利要求1所述的钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的沉积方法，其特征在于，所述工件为单质金属、或硬质合金、或高速钢。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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