[发明专利]固晶机的取晶机械手有效
| 申请号： | 201010605314.6 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102142391A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 黄薇;张电明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族光电设备有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00;H01L21/50;B25J9/16;B25J19/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固晶机 机械手 | ||
1.一种固晶机的取晶机械手，其特征在于，包括摆臂、吸嘴、真空气源、流量传感器、气管及信号处理装置，该吸嘴固定于该摆臂的自由端上，该流量传感器连通于该吸嘴与该真空气源之间，该气管用于连通该吸嘴、流量传感器及真空气源，该流量传感器用于检测该气管内的气流量并输出电信号，该信号处理装置用于对该流量传感器输出的电信号进行比较处理后输出是否漏晶的判断信号。
2.根据权利要求1所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，该信号处理装置包括与该流量传感器通讯连接的第一比较器及第二比较器，该流量传感器输出的电信号经该第一比较器比较后获得该吸嘴与晶片是否触完全的判断信号，该流量传感器输出的电信号经该第二比较器比较后获得是否漏晶的判断信号。
3.根据权利要求2所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，该信号处理装置还包括与该第一比较器电连接的第一电位器，该第一电位器用于调节该第一比较器的电信号比较值。
4.根据权利要求2所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，该信号处理装置还包括与该第二比较器电连接的第二电位器，该第二电位器用于调节该第二比较器的电信号比较值。
5.根据权利要求2所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，该信号处理装置还包括与该第一比较器及第二比较器通讯连接的输出端。
6.根据权利要求1所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，还包括连通于该吸嘴与该流量传感器之间的气阀，该气阀用于切断该气管中的气流。
7.根据权利要求6所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，还包括连通于气阀与该流量传感器之间的过滤器，该过滤器用于过滤气流中的杂质。
8.根据权利要求1所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，还包括连通于该流量传感器与该真空气源之间且用于提供吸气动力的气缸。
9.根据权利要求1所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，还包括用于驱动该摆臂转动的摆臂马达。
10.根据权利要求1所述的固晶机的取晶机械手，其特征在于，还包括用于驱动该摆臂伸缩运动的控制马达。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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