[发明专利]固晶机的取晶机械手有效
申请号: | 201010605314.6 | 申请日: | 2010-12-24 |
公开(公告)号: | CN102142391A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 黄薇;张电明;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族光电设备有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/00;H01L21/50;B25J9/16;B25J19/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机 机械手 | ||
【技术领域】
本发明涉及一种固晶设备,特别是涉及一种固晶机的取晶机械手。
【背景技术】
LED(SMD)固晶设备产能要求在不断提高。高速固晶机工作过程中,固晶机的取晶机械手吸嘴抓取晶片后,经高速摆臂移动至固晶位置。由于取晶机械手的摆臂移动呈弧形轨迹,此时若气压调节不恰当,造成吸嘴真空吸附力不够或抓晶时位置有偏移,将造成晶片未到达固晶位置前已被甩出。此时若无检测判断晶片是否还在,固晶过程继续完成,则形成漏固点。为了检测是否漏晶,取晶机械手通常采用红外检测装置来判断吸嘴的晶片是否还在。然而,红外线检测装置容易受外界红外光干扰而造成检测结果失效,且当晶片透明度较高时,信号微弱,也不易判别。因此,上述取晶机械手检测漏晶的精确度较低。
【发明内容】
鉴于上述状况,有必要提供一种检测漏晶的精度较高的取晶机械手。
一种固晶机的取晶机械手,其包括摆臂、吸嘴、真空气源、流量传感器、气管及信号处理装置,吸嘴固定于该摆臂的自由端上,流量传感器连通于吸嘴与真空气源之间,气管用于连通吸嘴、流量传感器及真空气源,流量传感器用于检测气管内的气流量并输出电信号,信号处理装置用于对流量传感器输出的电信号进行比较处理后输出是否漏晶的判断信号。
进一步地,该信号处理装置包括与该流量传感器通讯连接的第一比较器及第二比较器,该流量传感器输出的电信号经该第一比较器比较后获得该吸嘴与晶片是否触完全的判断信号,该流量传感器输出的电信号经该第二比较器比较后获得是否漏晶的判断信号。
进一步地,该信号处理装置包括与该流量传感器通讯连接的第一比较器及第二比较器,该流量传感器输出的电信号经该第一比较器比较后获得该吸嘴与晶片是否触完全的判断信号,该流量传感器输出的电信号经该第二比较器比较后获得是否漏晶的判断信号。
进一步地,该信号处理装置还包括与该第一比较器电连接的第一电位器,该第一电位器用于调节该第一比较器的电信号比较值。
进一步地,该信号处理装置还包括与该第二比较器电连接的第二电位器,该第二电位器用于调节该第二比较器的电信号比较值。
进一步地,该信号处理装置还包括与该第一比较器及第二比较器通讯连接的输出端。
进一步地,该固晶机的取晶机械手还包括连通于该吸嘴与该流量传感器之间的气阀,该气阀用于切断该气管中的气流。
进一步地,该固晶机的取晶机械手还包括连通于气阀与该流量传感器之间的过滤器,该过滤器用于过滤气流中的杂质。
进一步地,该固晶机的取晶机械手还包括连通于该流量传感器与该真空气源之间且用于提供吸气动力的气缸。
进一步地,该固晶机的取晶机械手还包括用于驱动该摆臂转动的摆臂马达。
上述固晶机的取晶机械手可通过流量传感器检测气管内的气体流量,从而得知吸嘴是否吸附有晶片,检测过程中不收外界光干扰,因此,上述固晶机的取晶机械手检测漏晶的精确度较高。
【附图说明】
图1为实施例一的固晶机的取晶机械手的平面示意图;
图2为图1所示取晶机械手的局部立体图;
图3为图1所示取晶机械手取晶的状态示意图;
图4为图1所示取晶机械手的控制信号时序图;
图5为图1所示取晶机械手的处理模块的原理图。
【具体实施方式】
下面主要结合附图说明本发明的具体实施。
请参阅图1及图2,实施例一的固晶机的取晶机械手100用于将晶片200从抓晶工作台300上抓取到固晶工作台400上。取晶机械手100包括摆臂110、嘴120、气管130、气阀140、过滤器150、流量传感器160、气缸170及真空气源180。吸嘴120固定于摆臂110的自由端上。气管130为多个,其将吸嘴120、气阀140、过滤器150、流量传感器160、气缸170及真空气源180依次连通。
摆臂110可在抓晶工作台300与固晶工作台400之间做往复运动。
吸嘴120具有吸嘴孔121,其通过吸嘴孔121吸气而将晶片200紧紧地吸取。
气阀140连通于吸嘴120与过滤器150之间,其用于切断气管130中的气流。在本实施中,气阀140为真空电磁阀。
过滤器150用于过滤气管130中气流的尘埃等杂质,以避免将尘埃等杂质吸入流量传感器160中。
流量传感器160用于检测气管130内的气流量。
气缸170用于提供吸嘴120吸气的动力。
真空气源180用于提供真空气压。
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