[发明专利]偏移量的生成方法和装置有效

专利信息
申请号: 201010610911.8 申请日: 2010-12-17
公开(公告)号: CN102560442A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 易璨 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/54
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 张天舒;陈源
地址: 100015 北京市*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 偏移 生成 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种偏移量的生成方法,其特征在于,包括:

根据第一实际位置和第一标准位置,生成顶点偏移量,所述第一实际位置为第一特征点的实际位置,所述第一标准位置为第一特征点的标准位置;

根据所述第一实际位置、第二实际位置、所述第一标准位置和第二标准位置,生成整体偏转角度,所述第二实际位置为第二特征点的实际位置,所述第二标准位置为第二特征点的标准位置;

根据摆放列数、所述第一实际位置、所述第二实际位置、所述第一标准位置和所述第二标准位置,生成横向偏移量;

根据摆放行数、所述第一实际位置、第三实际位置、所述第一标准位置和第三标准位置,生成纵向偏移量,所述第三实际位置为第三特征点的实际位置,所述第三标准位置为第三特征点的标准位置。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一标准位置包括第一标准横向坐标值和第一标准纵向坐标值,所述第二标准位置包括第二标准横向坐标值和第二标准纵向坐标值,所述第一标准横向坐标值为0,所述第一标准纵向坐标值为0,所述第二标准纵向坐标值为0。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述顶点偏移量包括顶点横向偏移量和顶点纵向偏移量;

所述根据第一实际位置和第一标准位置,生成顶点偏移量包括:

将所述第一实际横向坐标值和所述第一标准横向坐标值相减,生成所述顶点横向偏移量;

将所述第一实际纵向坐标值和所述第一标准纵向坐标值相减,生成所述顶点纵向偏移量。

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述第二实际位置包括第二实际横向坐标值和第二实际纵向坐标值;

所述根据所述第一实际位置、第二实际位置、所述第一标准位置和第二标准位置,生成整体偏转角度包括:

将所述第二实际横向坐标值和所述第一实际横向坐标值相减,生成横向坐标差值;

将所述第二实际纵向坐标值和所述第一实际纵向坐标值相减,生成纵向坐标差值;

根据所述横向坐标差值和所述纵向坐标差值,生成所述整体偏转角度。

5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述摆放列数大于或者等于2,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述第二实际位置包括第二实际横向坐标值和第二实际纵向坐标值;

所述根据摆放列数、所述第一实际位置、所述第二实际位置、所述第一标准位置和所述第二标准位置,生成横向偏移量包括:

根据所述第一标准横向坐标值、所述第一标准纵向坐标值、所述第二标准横向坐标值和所述第二标准纵向坐标值,生成第一标准位置连线长度,所述第一标准位置连线长度为第一标准位置和第二标准位置间连线的长度;

根据所述第一实际横向坐标值、所述第一实际纵向坐标值、所述第二实际横向坐标值和所述第二实际纵向坐标值,生成第一实际位置连线长度,所述第一实际位置连线长度为第一实际位置和第二实际位置间连线的长度;

将所述第一标准位置连线长度和所述第一实际位置连线长度相减,生成横向长度差值;

将所述横向长度差值与所述摆放列数和1的差值相除,生成所述横向偏移量。

6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第三标准位置包括第三标准横向坐标值和第三标准纵向坐标值,所述第三标准横向坐标值为0。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010610911.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top