[发明专利]偏移量的生成方法和装置有效
申请号: | 201010610911.8 | 申请日: | 2010-12-17 |
公开(公告)号: | CN102560442A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 易璨 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/54 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 张天舒;陈源 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏移 生成 方法 装置 | ||
1.一种偏移量的生成方法,其特征在于,包括:
根据第一实际位置和第一标准位置,生成顶点偏移量,所述第一实际位置为第一特征点的实际位置,所述第一标准位置为第一特征点的标准位置;
根据所述第一实际位置、第二实际位置、所述第一标准位置和第二标准位置,生成整体偏转角度,所述第二实际位置为第二特征点的实际位置,所述第二标准位置为第二特征点的标准位置;
根据摆放列数、所述第一实际位置、所述第二实际位置、所述第一标准位置和所述第二标准位置,生成横向偏移量;
根据摆放行数、所述第一实际位置、第三实际位置、所述第一标准位置和第三标准位置,生成纵向偏移量,所述第三实际位置为第三特征点的实际位置,所述第三标准位置为第三特征点的标准位置。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一标准位置包括第一标准横向坐标值和第一标准纵向坐标值,所述第二标准位置包括第二标准横向坐标值和第二标准纵向坐标值,所述第一标准横向坐标值为0,所述第一标准纵向坐标值为0,所述第二标准纵向坐标值为0。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述顶点偏移量包括顶点横向偏移量和顶点纵向偏移量;
所述根据第一实际位置和第一标准位置,生成顶点偏移量包括:
将所述第一实际横向坐标值和所述第一标准横向坐标值相减,生成所述顶点横向偏移量;
将所述第一实际纵向坐标值和所述第一标准纵向坐标值相减,生成所述顶点纵向偏移量。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述第二实际位置包括第二实际横向坐标值和第二实际纵向坐标值;
所述根据所述第一实际位置、第二实际位置、所述第一标准位置和第二标准位置,生成整体偏转角度包括:
将所述第二实际横向坐标值和所述第一实际横向坐标值相减,生成横向坐标差值;
将所述第二实际纵向坐标值和所述第一实际纵向坐标值相减,生成纵向坐标差值;
根据所述横向坐标差值和所述纵向坐标差值,生成所述整体偏转角度。
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述摆放列数大于或者等于2,所述第一实际位置包括第一实际横向坐标值和第一实际纵向坐标值,所述第二实际位置包括第二实际横向坐标值和第二实际纵向坐标值;
所述根据摆放列数、所述第一实际位置、所述第二实际位置、所述第一标准位置和所述第二标准位置,生成横向偏移量包括:
根据所述第一标准横向坐标值、所述第一标准纵向坐标值、所述第二标准横向坐标值和所述第二标准纵向坐标值,生成第一标准位置连线长度,所述第一标准位置连线长度为第一标准位置和第二标准位置间连线的长度;
根据所述第一实际横向坐标值、所述第一实际纵向坐标值、所述第二实际横向坐标值和所述第二实际纵向坐标值,生成第一实际位置连线长度,所述第一实际位置连线长度为第一实际位置和第二实际位置间连线的长度;
将所述第一标准位置连线长度和所述第一实际位置连线长度相减,生成横向长度差值;
将所述横向长度差值与所述摆放列数和1的差值相除,生成所述横向偏移量。
6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第三标准位置包括第三标准横向坐标值和第三标准纵向坐标值,所述第三标准横向坐标值为0。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的