[发明专利]有机EL显示器基板的点灯检查设备及其方法无效
申请号: | 201010611724.1 | 申请日: | 2010-12-21 |
公开(公告)号: | CN102169094A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 片冈文雄;松浦宏育;吉武康裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01B11/00;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;郭凤麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 el 显示器 点灯 检查 设备 及其 方法 | ||
1.一种有机EL显示器基板的点灯检查设备,其特征在于,具有:
点灯单元,向具有使有机EL元件的各像素点灯的点灯检查用专用配线以及专用电极极板的主基板的所述专用电极极板供电,使所述各像素点灯;以及
缺陷像素检测单元,根据所述点灯结果检测所述各像素中的未点灯的缺陷像素及其位置。
2.根据权利要求1所述的有机EL显示器基板的点灯检查设备,其特征在于,
所述专用电极极板设在所述主基板的至少一边。
3.根据权利要求1所述的有机EL显示器基板的点灯检查设备,其特征在于,
所述主基板具有至少一个面板,所述点灯单元能够至少以面板为单位向所述各像素一起供电。
4.一种有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,具有:
权利要求1所述的有机EL显示器基板的点灯检查设备;以及
缺陷修正设备,其具备光学检查所述缺陷像素的异物的位置的异物位置检查单元和对所述检测出的异物的位置照射激光,修正所述缺陷像素的缺陷修正单元。
5.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,
所述异物位置检查单元是捕捉缺陷像素的图像,与正常像素的图像进行比较,来检测像素内的缺陷及其位置的单元。
6.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,具有:
阻挡膜形成设备,重新形成在修正所述缺陷像素时一同被去除的阻挡膜。
7.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,具有:
判定单元,在修正所述缺陷像素后至少向所述缺陷像素供电,判定像素是否点灯。
8.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,具有:
低湿度环境维持单元,将所述点灯检查设备、所述缺陷修正设备控制为低湿度环境。
9.根据权利要求8所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,
所述低湿度环境维持单元是去除水分的水分去除单元或维持为非活性干燥气体环境的单元。
10.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,
所述缺陷修正设备将所述主基板安放在低湿度环境中,使所述激光经由透明窗照射所述异物。
11.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,
所述缺陷像素检测单元是通过图像捕捉向所述像素供电后点灯的状态,处理所述图像来检测所述缺陷像素的单元,
所述点灯检查设备具备判定单元,其根据所述图像,以所述面板为单位来检查线缺陷、不均匀、像素内彩色边纹中的至少一种不良,进行良品不良品的判定,
所述缺陷修正设备选出仅具有所述缺陷像素的不良的所述面板,修正所述缺陷像素。
12.根据权利要求4所述的有机EL显示器基板的缺陷检查修正装置,其特征在于,
所述缺陷像素检测单元是通过图像捕捉所述点灯的状态,处理所述图像检测所述缺陷像素的单元,
所述主基板具有至少一个面板,
所述缺陷修正设备,在所述面板内的所述缺陷像素在规定的个数以内时,修正所述面板的所述缺陷像素。
13.一种有机EL显示器基板的点灯检查方法,其特征在于,具有:
点灯步骤,向具有使有机EL元件的各像素点灯的点灯检查用专用配线以及专用电极极板的主基板的所述专用电极极板供电,使所述各像素点灯;以及
缺陷像素检测步骤,根据所述点灯结果检测所述各像素中的未点灯的缺陷像素及其位置。
14.根据权利要求13所述的有机EL显示器基板的点灯检查方法,其特征在于,
所述主基板具有至少一个面板,所述点灯步骤能够至少以面板为单位向所述像素一起供电。
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