[发明专利]被覆件及其制造方法有效
申请号: | 201010612825.0 | 申请日: | 2010-12-29 |
公开(公告)号: | CN102560370A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;刘咸柱;李聪 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/35 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 被覆 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种被覆件及其制造方法。
背景技术
碳纤维由于其具有低密度、高强度、高模量、低热膨胀系数、耐腐蚀、易编织加工以及较好的热、电性能等优良特性被广泛用于航天航空、建筑及电子元器件制造等领域。但碳纤维的抗氧化性能较差,且与金属、聚合物复合材料的润湿性不佳,大大限制了碳纤维材料在上述领域的应用。
现有技术利用化学气相沉积技术(CVD)将碳纤维(Cf)与ZrB2相结合形成Cf/ZrB2复合材料,该种Cf/ZrB2复合材料具有优良的机械性能及韧性,但其高温抗氧化性较差。
贵金属铱(Ir)熔点2443℃,因饱和蒸气压低、氧渗透率低而具有优良的高温抗氧化性能,是唯一在1600℃以上的空气中仍具有很好机械性能的金属。但是由于碳纤维与铱涂层之间润湿性较差,沉积于碳纤维材料上的铱涂层经高温处理后会产生大量裂纹,因此所述铱涂层的高温抗氧化性及抗热震性能较差。
发明内容
鉴于此,提供一种有效解决上述问题的被覆件。
另外,还提供一种上述被覆件的制造方法。
一种被覆件,包括基体、依次形成于该基体上的铬渗入层、铬层及铱层,该基体材质为碳纤维/ZrB2复合材料。
一种被覆件的制造方法,包括以下步骤:
提供基体,该基体材质为碳纤维/ZrB2复合材料;
以铬靶为靶材,于所述基体表面磁控溅射铬层,溅射温度为100~200℃,溅射时间为150~250min;在磁控溅射该铬层的过程中,该铬层与基体界面处的金属铬向基体扩散,于基体与铬层之间形成铬渗入层;
以铱靶为靶材,于所述铬层上磁控溅射形成铱层。
所述铬层的形成可提高所述铱层与基体之间的结合力,使被覆件经高温处理后铱层不易剥落或裂纹,如此可提高所述铱层的高温抗氧化性能。此外,通过上述制造方法形成的铱层几乎无针孔、具有良好的致密性,如此可进一步提高所述铱层的抗氧化性。
所述铱层还具有良好的抗热震性能,主要有如下两方面的原因:一方面,由于所述铬层从基体表层内向外梯度过渡,没有成分和力学性能的突变;另一方面,所述铱层与铬层之间过渡较好,没有成分和力学性能的突变。
因此,所述被覆件具有良好的高温抗氧化性及抗热震性。
附图说明
图1为本发明较佳实施例的被覆件的剖视图;
图2为制造图1中镀膜件所用真空镀膜机的示意图。
主要元件符号说明
被覆件 10
基体 11
铬渗入层 13
铬层 15
铱层 17
镀膜机 100
镀膜室 20
真空泵 30
轨迹 21
第一靶材 22
第二靶材 23
气源通道 24
具体实施方式
请参阅图1,本发明一较佳实施例的被覆件10包括基体11、依次形成于该基体11上的铬渗入层13、铬层15及铱层17。该被覆件10可以为涡轮叶片、喷嘴等航天航空机械零部件,也可为建筑、电子及汽车等交通工具的零部件。该基体11的材质为碳纤维/ZrB2复合材料。
所述铬层15及铱层17均可通过磁控溅射镀膜法形成。所述铬层15的厚度为2~3.5μm。所述铱层17的厚度为2~3.5μm。
所述铬渗入层13是在所述铬层15的形成过程中,铬层15与基体11界面处的金属铬向基体11内扩散而形成。所述铬渗入层13包括碳纤维(Cf)、ZrB2陶瓷相、Cr金属相及Cr-C相。
本发明一较佳实施例的制造所述被覆件10的方法主要包括如下步骤:
提供基体11,该基体11的材质为碳纤维/ZrB2复合材料。
请参阅图2,提供一真空镀膜机100,将所述基体11置于该真空镀膜机100内进行氩气等离子体清洗,以进一步去除基体11表面的油污,以及改善基体11表面与后续涂层的结合力。
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