[发明专利]一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置

权利要求书

1.一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，该装置包括适配接头(1)、上盖(2)、外壳(3)、蜗轮(4)、蜗杆(5)、调节手柄(6)、拨销(7)、定位环(8)、销轴(9)、连杆(10)、吸嘴接头(11)、橡胶吸嘴(12)和真空吸管(13)，其特征是：

所述适配接头(1)与上盖(2)紧固连接，外壳(3)固定在上盖(2)上；所述上盖(2)底部是带有外螺纹的中空轴(2-2)；所述定位环(8)的内螺纹与中空轴(2-2)的外螺纹配合；

所述定位环(8)将蜗轮(4)轴向定位在中空轴(2-2)上，所述外壳(3)上设置定位机构支撑蜗杆(5)和调节手柄(6)，所述蜗杆(5)固定在外壳(3)的定位机构上并与蜗轮(4)相啮合；所述蜗轮(4)上设置有定位孔，所述定位孔与拨销(7)配合；

所述销轴(9)固定在外壳(3)的下端，所述连杆(10)的一端与销轴(9)连接，连杆(10)的另一端与吸嘴接头(11)固定；所述吸嘴接头(11)与橡胶吸嘴(12)和真空吸管(13)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，它还包括定位销(14)，所述蜗杆(5)和调节手柄(6)上均设置销孔，所述蜗杆(5)和调节手柄(6)通过定位销(14)固定。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，所述连杆(10)的中间设有狭槽(15)，所述拨销(7)的末端伸入狭槽(15)内。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，所述上盖(2)的顶部为法兰圆盘(2-1)，所述法兰圆盘(2-1)的内外圈分别加工有内圈螺纹孔和外圈螺纹孔，内圈螺钉(2-1-1)通过内圈螺纹孔将适配接头(1)与上盖(2)紧固，外圈螺钉(2-1-2)通过外圈螺纹孔将外壳(3)固定在上盖(2)上。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，所述外壳(3)上设置的定位机构为内部的支撑环(3-1)和外部的凸台(3-2)，所述支撑环(3-1)用来支撑蜗杆(5)，凸台(3-2)用于支撑调节手柄(6)。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，它还包括卡环(3-3)，所述卡环(3-3)固定在外壳(3)内的支撑环(3-1)上，实现蜗杆(5)和蜗轮(4)的啮合。

7.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，所述橡胶吸嘴(12)由软橡胶材料制成。

8.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于，所述橡胶吸嘴(12)的个数为三个、四个或者六个。