[发明专利]一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置

说明书

技术领域

本发明涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域，具体涉及一种可用于光刻投影物镜加工装配过程中不同尺寸镜片、镜筒以及镜框搬运的可调式真空吸盘装置。

背景技术

光刻投影物镜的加工制造和装配是一个非常精密、复杂的过程，不管是镜片的精磨、抛光和检测，还是镜框的精密加工和检测，以及装配过程中镜片和镜框的夹持，都需要频繁的将镜片、镜框在不同的加工设备和检测设备之间来回搬运。在此过程中要严格保证不会对镜片的光学表面以及镜框的定位、配合表面产生损伤。

光刻投影物镜中光学元件的口径往往在50-350mm之间，小口径的光学镜片通常采用单个吸嘴吸取，镜片和吸嘴接触的部分是镜片的边缘的环带，这样可以尽量避免对光学元件中间部分的有效光学表面产生损伤。然而对于不同尺寸的镜片，这种方法则需要相应大小的不同吸嘴。

对于镜框的搬运，通常的方法是采用人工搬运或者机械手的方式。光刻物镜镜框的重量有的在十公斤以上，人工搬运耗时耗力而且可靠性不高，容易损伤零件。采用机械手通常夹持镜框的外圆柱面，在镜框装配入镜筒时无法装入；并且这种方式为刚性接触，容易损伤零件的配合表面。采用真空橡胶吸盘虽然会保护镜框的端面，但是由于镜框的端面为环形，其中间部分是中空的，无法直接使用单个吸嘴完成镜框的吸取。

发明内容

本发明为解决现有光刻投影物镜的加工制造和装配过程中光学元件和机械零件在取放和搬运过程元件表面造成损伤的问题，提供一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置。

一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，该装置包括适配接头、上盖、外壳、蜗轮、蜗杆、调节手柄、拨销、定位环、销轴、连杆、吸嘴接头、橡胶吸嘴和真空吸管，所述适配接头与上盖紧固连接，外壳固定在上盖上；所述上盖底部是带有外有螺纹的中空轴；所述定位环的内螺纹与中空轴的外螺纹配合；所述定位环将蜗轮轴向定位在中空轴上，所述外壳上设置定位机构支撑蜗杆和调节手柄，所述蜗杆固定在外壳的定位机构上并与蜗轮相啮合；所述蜗轮上设置有定位孔，所述定位孔与拨销配合；所述销轴固定在外壳的下端，所述连杆的一端与销轴连接，连杆的另一端与吸嘴接头固定；所述吸嘴接头与橡胶吸嘴和真空吸管连接。

本发明的工作原理：本发明将一组中心对称的吸嘴组合和调整结构有效的结合起来，通过调整吸嘴径向位置可实现对不同尺寸、形状的零件的吸取和搬运。适配接头作为吸盘和吊具的连接部件的同时还通过真空吸管对吸嘴抽真空以实现对光学或机械零件的吸持。外壳和上盖通过螺钉与适配接头紧固在一起，销轴一端固定在外壳底部，另一端和连杆相连。调节机构的连杆在拨销的推动下可绕销轴摆动一定的角度。具体的调节过程：拧动调节手柄转动蜗杆，通过啮合传动使蜗轮绕中空轴旋转。蜗轮的转动带动三个周向均布的拨销转动，拨销分别拨动连杆绕销轴转动，连杆转动的同时拨销可在狭槽内滑动。连杆的摆动使得周向均布的三个吸嘴从中心向外围同步移动，通过调节手柄控制蜗轮转动的角度便可实现对吸嘴张开大小的控制。

本发明的有益效果：本发明所述的吸盘装置结构简单、无损夹持、连续可调，本装置吸取范围可无级调整，调整范围大，橡胶吸嘴对被吸工件表面无损伤；并且蜗轮蜗杆机构本身具有自锁功能，保证吸盘在吸取范围内的任何位置吸取工件；本发明不仅可用于光学镜片还可以用于镜框等带有环形端面的零件的吸持，根据吸取工件的尺寸差异还可更换不同的吸嘴。

附图说明

图1为本发明所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置的主体结构示意图；

图2为本发明图1的轴测示意图；

图3为本发明所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置在Y-Z平面上的剖视图；

图4为本发明所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置中的蜗杆部分的内部结构示意图；

图5是本发明所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置的吸嘴摆动到最大角度时的结构示意图。

图中：1、适配接头，2、上盖，3、外壳，4、蜗轮，5、蜗杆，6、调节手柄7、拨销，8、定位环，9、销轴，10、连杆，11、吸嘴接头，12、橡胶吸嘴，13、真空吸管，14、定位销，15、狭槽，2-1、法兰圆盘，2-1-1、内圈螺钉，2-1-2、外圈螺钉，2-2、中空轴，2-2-1、外螺纹，3-1、支撑环，3-2、凸台，3-3、卡环，5-1、卡槽。

具体实施方式