[发明专利]用于清洗晶片的摇摆清洗装置

权利要求书

1.用于清洗晶片的摇摆清洗装置，包括供水流通过的清洗槽，清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管，其特征在于：所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置，摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台，驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。

2.根据权利要求1所述的用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其特征在于：所述传动机构包括固定设置在驱动装置输出端的主动轮、位于主动轮两侧且与主动轮相互啮合的两从动轮，以及位于两从动轮与旋转平台之间的连接装置。

3.根据权利要求2所述的用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其特征在于：所述连接装置包括两连接销、横向连接杆以及一纵向连接杆，两连接销的上端分别固定设置在两从动轮的下端面，两连接销的下端连接在横向连接杆的两端，所述纵向连接杆的上端固定设置在横向连接杆中部、其下端固定设置在旋转平台上。

4.根据权利要求1-3中的任一所述的用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其特征在于：所述清洗槽为多级台阶式的清洗槽。

5.根据权利要求1-3中的任一所述的用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其特征在于：所述清洗篮可拆卸的设置在旋转平台上。

6.根据权利要求1-3中的任一所述的用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其特征在于：所述驱动装置为调速电机。