[发明专利]用于清洗晶片的摇摆清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，具体涉及一种在晶片加工完成后，对晶片进行清洗的摇摆清洗装置。

背景技术

晶片的清洗是晶片经过浸蚀后的关键环节，其在清洗晶片过程中，对晶片清洗的质量好坏将直接影响成品晶片的质量。现有的许多晶片加工工厂里，对晶片的清洗方法是：采用人工操作清洗的方式，即在晶片经过浸蚀工序后，将晶片放置在具有热水的清洗槽内，采用人工操作使晶片在热水中摇晃，达到清洗晶片的目的，在此过程中由于受水温、水质、操作人员的力度以及清洗时间的影响，采用人工操作清洗的方式不能保证晶片质量，常常造成晶片表面产生浸蚀印、脏污等，影响晶片的外观质量，并且采用人工操作清洗的方式进行清洗，浪费劳动资源，且清洗的效率低。

发明内容

针对上述技术问题，本发明的目的提供一种用于清洗晶片的摇摆清洗装置，其能够对晶片进行自动清洗、清洗效果好且工作效率高，解决了现有技术中需要人工对晶片进行清洗、效果差、效率低的问题。

实现本发明的技术方案如下：

用于清洗晶片的摇摆清洗装置，包括供水流通过的清洗槽，清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管，所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置，摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台，驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。

所述传动机构包括固定设置在驱动装置输出端的主动轮、位于主动轮两侧且与主动轮相互啮合的两从动轮，以及位于两从动轮与旋转平台之间的连接装置，驱动装置输出端转动并带动其上的主动轮的转动，而主动轮的转动带动其两侧的从动轮转动，从而将驱动装置的驱动力传递出来。

所述连接装置包括两连接销、横向连接杆以及一纵向连接杆，两连接销的上端分别固定设置在两从动轮的下端面，两连接销的下端连接在横向连接杆的两端，所述纵向连接杆的上端固定设置在横向连接杆中部、其下端固定设置在旋转平台上。两从动轮在主动轮的带动下进行转动，并带动其下方的连接销一起运动，从而固定在两连接销下端的横向连接杆带动着纵向连接杆以及旋转平台一起转动。

所述清洗槽为多级台阶式的清洗槽，这样水流从高向低流动，而需要被清洗的晶片则逆流依次进行清洗，保证晶片充分清洗至工艺要求的清洁度、确保晶片的清洗质量，同时提高清洗的工作效率。

所述清洗篮可拆卸的设置在旋转平台上，这样可以将清洗篮从前一个旋转平台上拆卸下来放到下一个旋转平台。

为了便于控制摇摆速度，所述驱动装置选用调速电机。

所述送水机构为一根位于清洗槽上方的输水管以及设置在输水管上的控制阀。

采用了上述的方案，接通输水管上的控制阀，使清洗水流入清洗槽内，清洗水从高向低流动，将需要清洗的晶片放入清洗篮中，启动调速电机并通过传动机构将其动力传递给旋转平台，使旋转平台旋转从而达到对清洗篮中晶片进行清洗的目的，其中晶片的清洗是逆流向上的多次清洗，保证其清洗质量。本发明利用机械连杆装置来模拟人手清洗的摇摆动作，将置于流动热纯水中的晶片，经过逆流向上的多次清洗，保证晶片充分清洗至工艺要求的清洗质量，同时相对于人工清洗的方式提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图中，1为清洗槽，11为输水管，12为控制阀，2为出水管，3为清洗篮，4为旋转平台，5为驱动电机，6为主动轮，7为从动轮，71为从动轮，8为连接销，81为连接销，9为横向连接杆，10为纵向连接杆，21为温度探头。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。

如图1所示，用于清洗晶片的摇摆清洗装置，包括供水流通过的三级台阶式的清洗槽1，清洗槽1的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管2，送水机构为一根位于清洗槽1上方的输水管11以及设置在输水管11上的控制阀12，清洗槽的1上方设有三个摇摆装置，每个摇摆装置分别位于设置在清洗槽内的每级台阶清洗面上方，其中每个摇摆装置包括设有四个以上清洗篮3的旋转平台4，清洗篮可从旋转平台上拆卸下来，旋转平台可以是圆形或方形平台或椭圆形等，驱动旋转平台4旋转的驱动电机5以及将驱动电机5的动力传递给旋转平台4的传动机构，其中驱动电机优选为调速电机，便于控制摇摆装置的摇摆速度。

其中，传动机构包括固定设置在驱动电机5输出端的主动轮6、位于主动轮6两侧且与主动轮6相互啮合的两从动轮7、71，以及位于两从动轮7、71与旋转平台4之间的连接装置。而驱动电机以及两个从动轮设置在一个支架上，驱动电机、两从动轮可以在支架上上下升降。