[发明专利]激光器参数测量系统有效
申请号: | 201010616844.0 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN102539114A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 樊仲维;邱基斯;唐熊忻;张晶;张国新 | 申请(专利权)人: | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光器 参数 测量 系统 | ||
1.一种激光器参数测量系统,其特征在于,该激光器参数测量系统包括一个第一透镜、一个第一楔板、一个第二楔板、一个第三楔板、一个第一图像采集装置、一个第二图像采集装置、一个能量探头和一个波形探头,外部待测量的激光器输出的光束经过所述第一透镜透射到所述第一楔板,经过所述第一楔板反射的光束依次穿过第二楔板、第三楔板进入第一图像采集装置,经过所述第一楔板透射的光束进入所述能量探头,经过所述第二楔板反射的光束进入第二图像采集装置,经过所述第三楔板反射的光束进入所述波形探头。
2.根据权利要求1所述的激光器参数测量系统,其特征在于,该激光参数测量系统还包括一个平台,所述第一楔板、所述第二楔板、所述第三楔板、所述第一图像采集装置、所述第二图像采集装置、所述能量探头和所述波形探头都设置在所述平台上。
3.根据权利要求1或2所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述第一透镜设置在外部待测量的激光器的输出端位置,所述第一透镜与外部待测量的激光器的输出端的输出镜的距离小于该输出镜的像传递距离。
4.根据权利要求3所述的激光器参数测量系统,其特征在于,该激光器参数测量系统还包括一个第二透镜,所述第二透镜设置在所述平台上,所述第三楔板透射的光束经过所述第二透镜缩束后进入到所述第一图像采集装置。
5.根据权利要求4所述的激光器参数测量系统,其特征在于,该激光器参数测量系统还包括一个第三透镜,该第三透镜设置在所述平台上,所述第一楔板透射的光束经过所述第三透镜扩束后进入所述能量探头。
6.根据权利要求5所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述第一透镜和所述第二透镜为凸透镜,所述第三透镜为凹透镜。
7.根据权利要求6所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述第一透镜与其沿所述第一楔板、所述第二楔板方向到所述第二图像采集装置的投影的距离为所述第一透镜的焦距。
8.根据权利要求1所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述第一楔板、所述第二楔板和所述第三楔板都为玻璃板。
9.根据权利要求1所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述第一图像采集装置和所述第二图像采集装置都为CCD。
10.根据权利要求2所述的激光器参数测量系统,其特征在于,所述平台还包括一个升降结构和一个平移结构,所述升降结构控制所述平台沿竖直方向移动,所述平移结构控制所述平台沿水平方向移动。
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