[发明专利]激光器参数测量系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种测量系统，特别涉及一种用于对激光器参数进行测量的测量系统。

背景技术

激光器技术的不断发展，使得其被广泛的应用到各个领域。由此，对于激光器的各参数的检测也显得日益重要，常见的一站式激光器综合参数测试系统，主要包括能量测试单元、时间波形测试单元、时间波形测试单元、近场测试单元、远场测试单元。能量测试单元主要进行激光单脉冲能量、能量稳定性的监测和测量。时间波形测试单元进行脉冲宽度、脉冲前沿、后沿、脉冲稳定性、重复频率等参数的测量。近场测试单元通过控制电机带动一科学级CCD作动，找出最佳近场位置，测出光斑尺寸、软化因子、近场调制度、瑞利距离、像传递位置等。远场测试单元通过控制电机带动一科学级CCD作动，找出束腰位置，测出发散角、指向性和衍射倍数、束腰尺寸。

如图1所示，现有的激光器综合参数测量系统包括依光束入射方向依次设置的一个第一透镜110、一个第一楔板120、一个远场图像采集装置130、一个第二楔板140、一个能量探头150、一个第三楔板160、一个波形探头170、一个第二透镜180和一个近场图像采集装置190，该测量系统还包括一平台(图未示)，上述元件都设置在该平台上。

根据透镜成像原理，从所述第一透镜110经所述第一楔板120再到所述远场图像采集装置130的距离为所述第一透镜110的焦距，从所述第一透镜110经所述第一楔板120、所述第二楔板140、所述第三楔板160再到所述第二透镜180的距离等于第一透镜110的焦距加上第二透镜180的焦距f的距离，即大于所述第一透镜110的焦距，综合考虑以上距离，则承载上述元件的平台需要较大的尺寸。同理，若系统要求外部待测量激光器的最后一片透镜出射光的像传递距离为x，则现有测量系统中的第一透镜110与外部待测量激光器的最后一片透镜(图未示)的距离为像传递距离x，即第一透镜110正好位于外部待测量激光器的像平面上，即该测量系统的平台到外部待测量激光器的最后一片透镜的距离较远。

由此可见，由于现有测量系统的使用需要占据较大的空间，不符合当前轻型化、便携化的趋势。此外，现有测量系统用来承载各元件的平台尺寸较大，给批量化生产增加了繁重的工作量，并且其不便于上下及左右移动，使得应用范围受到很大的限制。而当待测激光器与上述光学平台不在同一平面上时，如图1所示，现有测量系统一般采用将两个45度反射镜113、115挂在一个竖直架，将待测激光器的输出的光束导入该测量系统，由此导致整个系统的成本较高，并且增加了安装及调节上述两个45度反射镜113、115的工序，导致整个系统的安装及调节较为复杂。

发明内容

为了解决现有技术激光器参数测量系统存在的占用空间大、成本高以及调节复杂的技术问题，本发明提供一种占用空间小、成本低、便于安装及调节的激光器参数测量系统。

本发明提供一种激光器参数测量系统，其包括一个第一透镜、一个第一楔板、一个第二楔板、一个第三楔板、一个第一图像采集装置、一个第二图像采集装置、一个能量探头和一个波形探头，外部待测量的激光器输出的光束经过所述第一透镜透射到所述第一楔板，经过所述第一楔板反射的光束依次穿过第二楔板、第三楔板进入第一图像采集装置，经过所述第一楔板透射的光束进入所述能量探头，经过所述第二楔板反射的光束进入第二图像采集装置，经过所述第三楔板反射的光束进入所述波形探头。

所述激光参数测量系统还包括一个平台，所述第一楔板、所述第二楔板、所述第三楔板、所述第一图像采集装置、所述第二图像采集装置、所述能量探头和所述波形探头都设置在所述平台上。

所述第一透镜设置在外部待测量的激光器的输出端位置，所述第一透镜与外部待测量的激光器的输出端的输出镜的距离小于该输出镜的像传递距离。

所述激光器参数测量系统还包括一个第二透镜，所述第二透镜设置在所述平台上，所述第三楔板透射的光束经过所述第二透镜缩束后进入到所述第一图像采集装置。

所述激光器参数测量系统还包括一个第三透镜，该第三透镜设置在所述平台上，所述第一楔板透射的光束经过所述第三透镜扩束后进入所述能量探头。

所述第一透镜和所述第二透镜为凸透镜，所述第三透镜为凹透镜。

所述第一透镜与其沿所述第一楔板、所述第二楔板方向到所述第二图像采集装置的投影的距离为所述第一透镜的焦距。

所述第一楔板、所述第二楔板和所述第三楔板都为玻璃板。

所述第一图像采集装置和所述第二图像采集装置都为CCD。