[发明专利]芯片封装体及其制作方法有效
申请号: | 201010616859.7 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN102130089B | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 林大玄;许传进;郑家明;刘沧宇 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/50 | 分类号: | H01L23/50;H01L23/31;H01L27/14;H01L27/146;H01L21/50;H01L21/82 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 及其 制作方法 | ||
1.一种芯片封装体,包括:
芯片,具有基板及导电垫结构,该芯片具有上表面和下表面;
上盖层,覆盖该芯片的上表面;
间隔层,介于该上盖层与该芯片之间,并覆盖设置于该芯片上的该导电垫结构;
导电通道,电性连接该导电垫结构;以及
遮光层,设置于该上盖层与该间隔层之间,其中该遮光层与该间隔层具有重叠部分,其中该重叠部分的最大值为该间隔层宽度的二分之一。
2.如权利要求1所述的芯片封装体,其中该基板还包括元件区,由该间隔层所围绕。
3.如权利要求2所述的芯片封装体,其中该间隔层于该基板与该上盖层之间形成空穴,且该遮光层部分延伸至该空穴中。
4.如权利要求3所述的芯片封装体,其中该元件区与该遮光层之间具有水平间距。
5.如权利要求4所述的芯片封装体,其中该水平间距介于2μm至100μm之间。
6.如权利要求4所述的芯片封装体,其中该水平间距介于5μm至40μm之间。
7.如权利要求1所述的芯片封装体,其中该重叠部分的最小值为5μm。
8.如权利要求1所述的芯片封装体,其中该遮光层包括黑光致抗蚀剂、抗反射涂料或金属材料。
9.如权利要求1所述的芯片封装体,其中该芯片和该间隔层之间还包括粘着层。
10.一种芯片封装体的制造方法,包括下列步骤:
提供上盖层及包括至少一芯片的晶片;
于该上盖层上形成遮光层图案;
通过间隔层粘结该上盖层与该晶片上表面,其中该间隔层覆盖设置于该芯片上的至少一导电垫,其中该遮光层图案与该间隔层具有重叠部分,其中该重叠部分的最大值为该间隔层宽度的二分之一;
从该晶片的下表面形成导电通道以电性连接该导电垫;以及
实施切割步骤,以分离该晶片形成封装后的各该芯片。
11.如权利要求10所述的芯片封装体的制造方法,其中该间隔层于该芯片与该上盖层之间形成空穴,且该遮光层图案部分延伸至该空穴中。
12.如权利要求11所述的芯片封装体的制造方法,其中该间隔层所围区域包括元件区,其与该遮光层图案之间具有水平间距。
13.如权利要求10所述的芯片封装体的制造方法,其中该遮光层图案包括黑光致抗蚀剂、底层抗反射涂料或金属材料。
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