[发明专利]一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑，它包括腔体底盘(1)、腔壁(2)、多层载盘支撑(3)、支撑垫块(4)、载盘连接(5)、载盘(6)、加热器(7)。

2.如权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑，采用多层支撑板组成多层载盘支撑(3)，每个支撑板的厚度较常规形式的支撑厚度减少很多，从而减少了工作过程中热胀冷缩产生的形变。

3.如权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑，采用多层支撑板组成多层载盘支撑(3)，每层之间均有一定间距，而这些间距中的气体是极好的绝热介质。这样减少了多层载盘支撑(3)内侧加热器(7)对腔壁(2)的热量辐射，既提高了加热器(7)热量的利用效率，又减少了腔壁(2)的降温需求。

4.如权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑，采用多层支撑板组成多层载盘支撑(3)，即便在设备工作过程中某一层或几层产生损坏，依然能够正常工作一段时间，而不至于产生更大的生产损失。