[发明专利]光刻胶组合物

权利要求书

1.一种光刻胶组合物，包含：

包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：

其中Q¹和Q²独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基；U表示C1-C20二价烃基，其中一个或更多个-CH₂-可被-O-、-NH-、-S-、-NR^c-、-CO-或-CO-O-替代，R^c表示C1-C6烷基；X¹表示-O-CO-、-CO-O-、-CO-O-CH₂-、-CH₂-O-CO-、-O-CH₂-、-CH₂-O-、-NR^d-CO-或-CO-NR^d-，R^d表示氢原子或C1-C6烷基；A⁺表示有机反荷离子，

其中R⁵¹、R⁵²、R⁵³和R⁵⁴独立地表示可具有一个或更多个取代基的C1-C20烷基、可具有一个或更多个取代基的C3-C30饱和环状烃基或可具有一个或更多个取代基的C2-C20烯基，A¹¹表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。

2.根据权利要求1的光刻胶组合物，其中式(D’)表示的所述化合物为式(D)表示的化合物：

其中R¹、R²、R³和R⁴独立地表示C1-C8烷基，A¹表示可含有一个或更多个杂原子并具有一个或更多个取代基的C3-C36二价饱和环状烃基或可含有一个或更多个杂原子并具有一个或更多个取代基的C6-C20二价芳族烃基。

3.根据权利要求2的光刻胶组合物，其中R¹、R²、R³和R⁴独立地表示C1-C6烷基。

4.根据权利要求1、2或3的光刻胶组合物，其中Q¹和Q²为氟原子。

5.根据权利要求1、2或3的光刻胶组合物，其中A⁺为式(IIIa)表示的阳离子：

其中P¹、P²和P³独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、氰基、C1-C12烃基或C1-C12烷氧基。

6.根据权利要求1、2或3的光刻胶组合物，其中所述树脂还包含式(II)表示的结构单元：

其中R²¹表示氢原子或甲基，R²²表示C1-C6烃基，X²表示单键或^＊-(CH₂)_k-CO-O-，其中^＊表示与-O-的键合位置，k表示1-6的整数。

7.根据权利要求1、2或3的光刻胶组合物，其中所述树脂还包含式(VI)表示的结构单元：

其中R²⁸表示氢原子、卤素原子、C1-C6烷基或C1-C6卤代烷基，R²⁹每次出现时独立地为卤素原子、羟基、氰基、C1-C12烷基、含羟基的C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C6-C12芳基、C7-C13芳烷基、缩水甘油氧基、C2-C4酰基、C2-C4酰氧基、丙烯酰基或甲基丙烯酰基，m表示0-4的整数。