[发明专利]掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，其在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低。

2.根据权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，其中在900℃/100小时热处理后，OH基团浓度的降低的最大值和最小值之间的差值小于或等于50ppm。

3.根据权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，在900℃/100小时热处理后具有300ppm-950ppm的OH基团浓度。

4.根据权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，在900℃/100小时热处理后具有小于或等于100ppm/cm的OH基团浓度梯度。

5.根据权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，具有小于或等于5×10¹⁷个分子/cm³的氢分子浓度。

6.根据权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃，包含3-10重量％的二氧化钛。

7.一种EUV光刻部件，包含权利要求1所述的掺杂二氧化钛的石英玻璃。

8.根据权利要求7所述的部件，所述部件为EUV光刻光掩模衬底。

9.根据权利要求7所述的部件，所述部件为EUV光刻装置中反射光学系统中的镜子。

10.一种制备掺杂二氧化钛的石英玻璃的方法，包括步骤：借助于可燃气体和助燃气体使提供硅的反应物气体和提供钛的反应物气体进行氧化或火焰水解，由此形成人造氧化硅-二氧化钛细颗粒，将氧化硅-二氧化钛细颗粒沉积在旋转靶上，并且同时将沉积的颗粒熔融和玻璃化成掺杂二氧化钛的石英玻璃，

该方法还包括步骤：通过燃烧器的中心管供给作为助燃气体的氧气，与提供硅的反应物气体和提供钛的反应物气体混合，所述氧气相对提供硅的反应物气体和提供钛的反应物气体之和的摩尔比例为至少5。

11.一种制备掺杂二氧化钛的石英玻璃的方法，包括步骤：借助于可燃气体和助燃气体使提供硅的反应物气体和提供钛的反应物气体进行氧化成火焰水解，由此形成人造氧化硅-二氧化钛细颗粒，将氧化硅-二氧化钛细颗粒沉积在旋转靶上，并且同时将沉积的颗粒熔融和玻璃化成掺杂二氧化钛的石英玻璃，

该方法还包括步骤：通过燃烧器的一个或多个氢气供给管以低于或等于100m/s的线速度喷入作为可燃气体的氢气。

12.根据权利要求10的方法，其中：

控制可燃气体、助燃气体、提供硅的反应物气体和提供钛的反应物气体的流量，使得各自的流量变化可落入±1％内，

控制从石英玻璃制造炉外引入的冷却空气、来自炉的废气以及炉周围的环境空气的温度，使得各自的温度变化可落入±2.5℃内，且

当氧化硅-二氧化钛细颗粒沉积在旋转靶上时，以至少5rpm的旋转速度旋转所述靶。