[实用新型]半导体元件的除尘装置

权利要求书

1.一种半导体元件的除尘装置，其特征在于，包含：

一个导引单元；

一个限位单元，设置于该导引单元上，该限位单元包括一个用以对所述半导体元件提供限位作用的遮罩网件，及多数个间隔设置于该导引单元上并与该遮罩网件相连接且能带动该遮罩网件升降位移的升降驱动件；及

一个除尘单元，包括一个设于该导引单元的除尘本体，及一个设于该除尘本体内的送风管，该送风管具有一个形成于该除尘本体上且供一外界气体输入的入风孔、一个形成于该除尘本体上且朝向该遮罩网件的出风孔，借此所述外界气体输入该入风孔并经该送风管而由该出风孔朝向该遮罩网件输出，以对所述半导体元件进行吹风清洁作用。

2.如权利要求1所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：还包含一固设于该导引单元并朝向该限位单元而能收集该除尘单元所吹扬的污染尘的吸尘单元。

3.如权利要求2所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：该吸尘单元具有一个固设于该导引单元的吸尘本体、一个形成于该吸尘本体内的容室、一个形成于该吸尘本体且与该容室相连通并朝向该限位单元的吸尘孔，及一个形成于该吸尘本体并与该容室相连通且用以外接一抽风机的排出孔。

4.如权利要求3所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：该除尘单元的该送风管还具有一个形成于该入风孔与该出风孔间并用以将扰流气旋整流成稳定除尘气流的整流室。

5.如权利要求4所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：该导引单元包括二个相间隔的滑轨，及一个可滑动地设于所述滑轨上的滑动座，该除尘单元与该吸尘单元是设置于该滑动座上。

6.如权利要求5所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：还包含一驱动单元，该驱动单元与该导引单元的滑动座相连接并用以驱动该滑动座沿所述滑轨往返移动。

7.如权利要求6所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：所述半导体元件是以多数个排列置于一托盘上，该托盘可置于该导引单元的所述滑轨上并位于该遮罩网件下方，借由该驱动单元可使该除尘单元与该吸尘单元对该托盘上的所述半导体元件进行除尘与吸尘。

8.如权利要求7所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：该遮罩网件具有一个设于所述升降驱动件上的框架、一个设于该框架上的网体，及多数个间隔排列地形成于该网体上的网孔。

9.如权利要求8所述半导体元件的除尘装置，其特征在于：该导引单元还包括一个设于所述滑轨间的输送带，及一个用以驱动该输送带的输送驱动件。