[实用新型]三氯氢硅合成炉供气结构无效
| 申请号： | 201020101525.1 | 申请日： | 2010-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN201626836U | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 王国林 | 申请（专利权）人： | 江苏福斯特石化装备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225500 江苏省姜堰市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 供气 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅合成炉供气结构，它包括反应段(1)、供气室(4)及其相配合处平置的气体分布板(3)，板状的气体分布板(3)板面上均布轴向通孔(3.1)，朝反应段(1)一侧的通孔(3.1)为螺孔，每只螺孔都配装喷嘴(2)；其特征在于：内空结构的喷嘴(2)上端为盲端，底端敞口与气体分布板(3)上的通孔(3.1)相通，喷嘴(2)腰部壁上对称设有出气口(2.1)。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉供气结构，其特征在于：喷嘴(2)腰部壁上的出气口(2.1)为朝下的斜孔，出气口(2.1)轴线与喷嘴(2)轴线相交的夹角为40°～50°。
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