[实用新型]硅片夹紧装置有效

专利信息
申请号: 201020115613.7 申请日: 2010-02-21
公开(公告)号: CN201613496U 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 莫心龙;徐勇兵;喻飞建 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 杨志宇
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 硅片 夹紧 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片夹紧装置,包括远端固定板(1)、活动推板(2)、滑杆(3)、动力源(4)、底板(5)、近端固定板(8);其特征在于:滑杆(3)穿透近端固定板(8)上的通孔;动力源(4)与活动推板(2)通过滑杆(3)活动地连接在一起。

2.如权利要求1所述的一种硅片夹紧装置,其特征在于:底板(5)的一端与远端固定板(1)底端固定连接,底板(5)的另一端与近端固定板(8)底端固定连接。

3.如权利要求1所述的一种硅片夹紧装置,其特征在于:底板(5)的一端与远端固定板(1)底端垂直固定连接,底板(5)的另一端与近端固定板(1)底端垂直固定连接。

4.如权利要求1或2或3所述的一种硅片夹紧装置,其特征在于:还增设背面板(6),背面板(6)的一端与远端固定板(1)的侧面固定连接,背面板(6)的另一端与近端固定板(8)的侧面固定连接。

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