[实用新型]一种印刷点显露状况检测装置

权利要求书

1.一种印刷点显露状况检测装置，包括运动部件、测量部件，以及检测控制系统，其特征在于：

所述运动部件是直角坐标运动平台，包括实现X、Y、Z三方向直线导向运动的精密线性导轨、滚珠丝杆和伺服电机；

所述测量部件包括Dot测量专用模块、受测试件专用夹具，所述Dot测量专用模块安装在所述直角坐标运动平台的Z向立柱，所述受测试件专用夹具放置在所述直角坐标运动平台的XY向数控工作台。

2.如权利要求1所述的印刷点显露状况检测装置，其特征在于：

所述Dot测量专用模块包括摄像机、图像标定板、专用照明光源及其控制器、高分辨率物镜，以及GRR分析程序。

3.如权利要求1或2所述的印刷点显露状况检测装置，其特征在于：

所述受测试件专用夹具包括承载板和其上面的固定台板、可移动滑块，以及固定台板上面的随行基板定位销。

4.如权利要求3所述的印刷点显露状况检测装置，其特征在于：

所述直角坐标运动平台是重复定位精度为±10微米的直角坐标运动平台。

5.如权利要求3所述的印刷点显露状况检测装置，其特征在于：

所述摄像机是分辨率为1280×1024dpi的CCD摄像机。