[实用新型]用于晶圆盒机台载物台的条形挡板有效
| 申请号： | 201020117725.6 | 申请日： | 2010-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN201611650U | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 诸俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 晶圆盒 机台 载物台 条形 挡板 | ||
1.一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述条形挡板固定在所述晶圆盒的机台载物台的侧面，所述条形挡板包括：阻挡部件，所述阻挡部件的中心线与所述机台载物台的底面平行，所述阻挡部件与所述机台载物支撑柱的顶部位于同一高度；设置于所述阻挡部件两端的第一连接部件、第二连接部件；与第一连接部件、第二连接部件分别连接的第一固定部件和第二固定部件。
2.如权利要求1所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件为一体成型。
3.如权利要求1所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述条形挡板为不锈钢材质。
4.如权利要求1所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述第一固定部件和所述第二固定部件上设有螺丝孔，用于固定所述条形挡板。
5.如权利要求1所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述晶圆盒为E-SUM公司生产的。
6.如权利要求5所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述阻挡部件的长度为25cm，所述第一固定部件和所述第二固定部件的长度为2cm～4cm，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件的宽度相等，均为1cm～4cm。
7.如权利要求5所述的用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，其特征在于，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件与所述第二固定部件成倒“Ω”字形，所述条形挡板的任意拐角为直角。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
