[实用新型]用于晶圆盒机台载物台的条形挡板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆盒机台载物台的改造，尤其设计一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板。

背景技术

在集成芯片的制造过程中，用于制作芯片的晶圆在不同的制作过程之间以及制作过程中的运输是储藏在晶圆盒(Pod)中运输的，晶圆盒的使用可以为晶圆提供较高洁净度环境，还避免晶圆受到洁净度相对晶圆盒低的制作车间内污染源的污染。多数半导体制造工厂采用的晶圆盒是ENTIGRIS公司的和E-SUM公司的。图1为ENTIGRIS晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图，图2为E-SUM晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图，如图1所示，所述检测装置300’通过红外探测光，自下至上检测所述ENTIGRIS晶圆盒200a内晶圆的数量以及质量，所述检测装置300’首先探测到所述ENTIGRIS晶圆盒200a上的支撑柱202a，以此设置初始点，然后自下向上扫描晶圆盒300’内的晶圆，得出晶圆的质量和数量。同样，如图2所示，所述检测装置300’通过红外探测光，自下至上检测所述E-SUM晶圆盒200’内晶圆的数量以及质量，然而所述E-SUM晶圆盒200’的机台载物台的底座上设有的支撑柱202’没有横向挡板，所述检测装置300’的红外探测光自下向上检测时无法找到初始点，会造成检测过程的失误。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是检测装置在检测晶圆盒内晶圆时无法设置起始点的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，所述条形挡板固定在所述晶圆盒的机台载物台的侧面，所述条形挡板固定在所述晶圆盒的机台载物台的侧面，所述条形挡板包括：阻挡部件，所述阻挡部件的中心线与所述机台载物台的底面平行，所述阻挡部件与所述机台载物支撑柱的顶部位于同一高度；设置于所述阻挡部件两端的第一连接部件、第二连接部件；与第一连接部件、第二连接部件分别连接的第一固定部件和第二固定部件。

进一步的，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件为一体成型。

优选的，所述条形挡板为不锈钢材质。

可选的，所述第一固定部件和所述第二固定部件上设有螺丝孔。

进一步的，所述晶圆盒为E-SUM公司生产的。

进一步的，所述阻挡部件的长度为25cm，所述第一固定部件和所述第二固定部件的长度为2cm～4cm，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第二固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件的宽度相等，均为1cm～4cm。

进一步的，所述阻挡部件、所述第一固定部件、所述第一连接部件、所述第二连接部件与所述第二固定部件成倒“Ω”字形，所述条形挡板的任意拐角为直角。

综上所述，用于晶圆盒机台载物台的条形挡板可以有效解决检测装置在检测晶圆盒内晶圆时无法设置起始点的问题，并且所述条形挡板形状简单，材料常见，故易于制作且成本低廉。

附图说明

图1为现有技术中ENTIGRIS晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图。

图2为现有技术中E-SUM晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图。

图3为用于晶圆盒机台载物台的条形挡板的主视图。

图4为用于晶圆盒机台载物台的条形挡板的俯视图。

图5为本实用新型E-SUM晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图。

具体实施方式

为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

本实用新型提出一种用于晶圆盒机台载物台的条形挡板，图5为本实用新型E-SUM晶圆盒的俯视图和检测装置的工作示意图。请参考图5，所述条形挡板100固定在所述晶圆盒的机台载物台200的侧面，

图3为用于晶圆盒机台载物台的条形挡板的主视图。图4为用于晶圆盒机台载物台的条形挡板的俯视图。请参考图3和图4，所述条形挡板100包括：阻挡部件101，所述阻挡部件101与所述机台载物台200的底面平行，所述阻挡部件101与所述机台载物台200支撑柱202的顶部位于同一高度；设置于所述阻挡部件101两端的第一连接部件107、第二连接部件109；与第一连接部件107、第二连接部件109分别连接的第一固定部件103和第二固定部件105。