[实用新型]管靶材组件有效
| 申请号： | 201020118658.X | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN201722424U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;汪涛;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管靶材 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种管靶材组件，其特征在于，包括：
铝或铝合金管靶材，两端具有螺纹；
带螺纹的连接接头，与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。
2.根据权利要求1所述的管靶材组件，其特征在于，所述管靶材组件还包括密封圈。
3.根据权利要求2所述的管靶材组件，其特征在于，所述密封圈材质为耐高温的橡胶或树脂。
4.根据权利要求2所述的管靶材组件，其特征在于，所述密封圈具有金属骨架。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的管靶材组件，其特征在于，所述连接接头材料选自铝基合金或铁基合金。
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