[实用新型]管靶材组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种管靶材组件。

背景技术

基于物理气相沉积(Physical Vapor Deposition；PVD)原理的溅射镀膜工艺，其是半导体芯片、液晶显示设备(Liquid Crystal Display；LCD)、以及太阳能电池等产品制造过程中的重要工艺之一。其中，制造太阳能电池的过程中所使用的溅射靶材主要为管靶材，生产中较为常用的管靶材为纯铝及铝合金溅射管靶材。

目前，在溅射镀膜工艺中，用于溅射镀膜的管靶材是通过例如焊接等连接方式与连接接头连接到一起，再通过所述连接接头连接到溅射设备上。这种情况下，当管靶材耗尽后，与所述管靶材连接在一起的用于与溅射设备相连的连接接头会随着管靶材一起报废，这样造成了资源的浪费。

另一方面，目前溅射镀膜工艺中，由管靶材和连接接头构成的管靶材组件，其所处的工作环境比较恶劣，例如，管靶材组件处于强电场、磁场中并被各种高速粒子轰击，溅射过程中管靶材组件的温度较高等，这种工作环境对管靶材组件的连接强度要求较高。其原因在于，若管靶材组件的连接强度不合适，则可能出现管靶材组件的结合部开裂、管靶材从连接接头上脱落等情况。此外，还可能会出现管靶材组件发生变形、管靶材偏离规定位置等情况，特别是铝或铝合金管靶材靶材，因金属铝较软，在溅射镀膜过程中极易发生变形。这些情况会导致溅射镀膜过程不稳定，成膜质量下降，严重时还会导致溅射设备受损，使生产无法正常进行，最终破坏整个生产的稳定性、连续性等。

综上所述，在溅射镀膜工艺中，选择一种既能够使管靶材与连接接头可靠地结合在一起，又能够重复利用连接接头的连接方式来实现管靶材与连接接头的连接，是十分必要的。

实用新型内容

本实用新型是为了解决溅射镀膜过程中，铝或铝合金管靶材的连接接头无法循环利用造成浪费，以及铝或铝合金管靶材的连接强度要求较高工艺难度大的问题而进行的。

为解决上述问题，本实用新型提供一种管靶材组件，包括：

铝或铝合金管靶材，两端具有螺纹；

带螺纹的连接接头，与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。

可选地，所述管靶材组件还包括密封圈。

可选地，所述管靶材组件中，所述密封圈材质为耐高温的橡胶或树脂。

可选地，所述管靶材组件中，所述密封圈具有金属骨架。

可选地，所述管靶材组件中，所述连接接头材料选自铝基合金或铁基合金。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：通过螺纹进行连接组成的管靶材组件，就可以实现其中的连接接头的循环再利用，即可以降低成本，又可以节约资源，而且螺纹连接的操作非常简单、方便，可操作性强。另外，螺纹连接的连接比较牢固，不会出现管靶材移位、脱落等情况，可以确保生产的安全性、持续性等。

附图说明

图1为现有技术中管靶材组件的剖面示意图；

图2为本实用新型管靶材组件一实施方式中管靶材的剖面示意图；

图3为本实用新型管靶材组件一实施方式中连接接头的剖面示意图；

图4为本实用新型管靶材组件一实施方式的剖面示意图。

具体实施方式

图1为现有技术中管靶材组件的剖面示意图，其中，11为铝或铝合金管靶材，12为连接接头。参照图1，现有技术中铝或铝合金管靶材组件连接方式为焊接方式，而且大多采用电子束焊接。当铝或铝合金管靶材使用完毕后，用于连接铝或铝合金管靶材的连接接头要一起报废，这样容易造成连接接头的浪费，而且使生产成本变高。

本实用新型一实施方式提供一种管靶材组件，包括：两端具有螺纹的铝或铝合金管靶材；带螺纹的连接接头，与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。此外，所述管靶材组件还包括密封圈；所述密封圈材质可以为耐高温的橡胶或树脂，且所述密封圈可以具有金属骨架。另外，所述连接接头材料选自铝基合金或铁基合金。

由于铝管靶材与铝合金管靶材的性能相似，因此，在本实用新型一实施方式中，以铝管靶材为例对本实用新型的技术方案进行说明。

下面，结合附图，对本实用新型一实施方式进行详细地说明。在本实施方式中，所述管靶材、连接接头均为圆管形，图2、图3及图4均为经所述管靶材、连接接头的中心轴线的截面图，为了能够清楚地进行说明，图中对所述管靶材、连接接头等进行了标注。

参照图2、图3及图4，在本实施方式中，管靶材组件包括：管靶材21、连接接头22以及密封圈23。