[实用新型]一种功率器件键合时用的上压板

权利要求书

1.一种功率器件键合时用的上压板(100)，包括上压板的板体(10)，所述板体上设有供引线框架管脚和载片区露出的大通孔(20)，一排多个用来压住引线框架管脚的紧固片(30)自板体上大通孔的一侧边向通孔内伸出，其特征在于，每个紧固片(30)为可单独调节的弹片。

2.根据权利要求1所述的上压板(100)，其特征在于，所述紧固片(30)贴在板体(10)下表面，其包括一体的连接部(31)和调节压片(32)，所述连接部(31)可拆卸地连接于板体(10)，所述调节压片(32)的外端头伸入大通孔(20)用来压住引线框架管脚，自所述板体(10)上表面向下穿设有多个与调节压片(32)一一对应的调节螺钉(33)，每个调节螺钉的末端可碰触到一个调节压片(32)。

3.根据权利要求2所述的上压板(100)，其特征在于，每个紧固片(30)上有可压在同一个引线框架两侧管脚上的两个调节压片(32)。

4.根据权利要求3所述的上压板(100)，其特征在于，所述紧固片(30)上调节压片(32)所在的中间位置被冲切形成开口，所述连接部(31)和两个调节压片(32)形成“Y”状。

5.根据权利要求2所述的上压板(100)，其特征在于，所述紧固片(30)的外端通过紧固螺钉(34)与板体(10)连接；所述紧固片(30)为有弹性的硅钢材料制成。

6.根据权利要求1-5任一项所述的上压板(100)，其特征在于，所述板体(10)上设有可外接气源的气嘴(41)，板体(10)内还设有与气嘴连通的主气流通道(42)，在所述大通孔一侧边的板体上，于紧固片(30)的对面，设有与主气流通道(42)相通、可向紧固片(30)方向吹气的多个吹气口(43)。

7.根据权利要求6所述的上压板(100)，其特征在于，所述气嘴为两个，设在板体(10)上与紧固片(30)相对的一侧，且分别位于板体的两端。

8.根据权利要求6所述的上压板(100)，其特征在于，所述主气流通道(42)设在与气嘴(41)同侧的板体(10)内，为沿着板体长度方向的横向主气流通道。

9.根据权利要求6所述的上压板(100)，其特征在于，所述吹气口(43)与调节压片(32)一一对应。

10.根据权利要求6所述的上压板(100)，其特征在于，所述吹气口(43)气流通道外高内低、向紧固片倾斜45度角。