[实用新型]四分等比例分光装置及具有该装置的激光刻线设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学领域，尤其涉及一种四分等比例分光装置及具有该装置的激光刻线设备。

背景技术

目前的太阳能电池激光刻线工艺中，有采用单激光器单光路进行加工，也有单激光器多光路进行加工的工艺。比如常见的一路激光分成四路切割的分光方法。

但是现有技术对一路激光分成四路切割的分光方法采用的是水平分光或比例分光的方法。

水平分光技术：激光平面呈水平布置，分光镜、反射镜等元件的镜片中心都布置在同一水平面上，激光光路经过多次分光、多次反射后仍保持在水平平面上完成光传输，此法通常只使用反射功率与透射功率之比为50％∶50％的分光镜。但该技术占用较大的水平面来布置分光镜和反射镜，且到达聚焦镜要多一次反射，占用光传输元件较多和光传输损失较大。

比例分光技术：激光在同一直线上完成分光，一分四路的分光镜反射功率与透射功率比例从激光输入方向依次按25％∶75％、33％∶67％、50％∶50％，最后一面镜片反射率100％。比例分光技术虽然节约空间，但因分光镜反射功率与透射功率比例偏差范围较大，各路光功率分配存在不均衡现象。

针对现时状况，本实用新型提供一种节省空间，功率分配均匀的四分等比例分光装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节省空间，功率分配均衡的四分等比例分光装置。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种四分等比例分光装置，所述四分等比例分光装置用于对入射的准直光束进行分光，所述四分等比例分光装置包括反射镜组、分光镜组及聚焦镜组，所述反射镜组包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；所述分光镜组包括反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光，所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。

较佳地，所述第二反射光与准直光束平行。

较佳地，所述第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜的中心均位于与准直光束平行的一直线上。

较佳地，所述第一束光与第二束光之间的距离、第二束光与第三束光之间的距离、第三束光与第四束光之间的距离相等。

本实用新型还提供一种激光刻线设备，包括第一台板、第二台板、固定于所述第一台板上的激光器、扩束镜、滑动连接于所述第二台板上的若干底座、若干所述底座上设有四分等比例分光装置，所述四分等比例分光装置包括反射镜组，所述反射镜组包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；分光镜组，所述分光镜组包括反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；聚焦镜组，所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光，所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。