[实用新型]蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于：至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。

2.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于：所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。

3.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于：对应所述维修口处设有遮挡门。

4.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于：所述下侧板设有工艺开口。

5.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于：若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。

6.一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体机构，其特征在于：所述蒸镀腔体机构包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。

7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。

8.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：对应所述维修口处设有遮挡门。

9.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：所述下侧板设有工艺开口。

10.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。