[实用新型]蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED(OrganicLight-emitting Diode，有机发光二极管)显示屏就是数码产品中的一种新产品，其具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED在目前所有显示技术中，因为可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的液晶显示屏并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO(Indium-Iin Oxide，氧化铟锡)玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方设置(如蒸镀)一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射而发光。

而具体涉及到蒸镀技术的腔体，现有已知的用于蒸镀的腔体容器通常为长方体也包括正方体的结构。该腔体容器为了提高其刚性和耐压强度，需要使容器壁具有一定厚度，从而造成重量以及成本的增加。

针对现时状况，本实用新型提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体机构。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体机构。

本实用新型的另一目的是提供一种具有蒸镀腔体机构的蒸镀装置，所述蒸镀腔体机构强度高，成本低并且轻便。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。

所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。

对应所述维修口处设有遮挡门。该遮挡门用于遮挡该维修口。

所述下侧板设有工艺开口。该工艺开口为腔体外部的用于蒸镀的材料送入腔体内部的入口。

若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。

本实用新型还提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体机构，所述蒸镀腔体机构包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上例板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。

与现有技术相比，本实用新型蒸镀腔体机构至少有一弯折侧板，弯折侧板的中侧板是沿上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，使腔体体积减少，节省用料。

通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明