[实用新型]连续真空镀膜装置无效
| 申请号： | 201020143845.3 | 申请日： | 2010-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201648512U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 汪友林 | 申请（专利权）人： | 深圳森丰真空镀膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中知专利商标代理有限公司 44101 | 代理人： | 宋湘红 |
| 地址： | 518101 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 真空镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于：包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵；还设有用于承载和传输工件的传输机构。
2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜室设有一至数个，在每个镀膜室之后均设有一个过渡室，它们依次相接并由真空锁连接。
3.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在所述清洗室内设有一个、两个或多个离子源。
4.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在所述镀膜室或过渡室设有膜厚实时监控探头。
5.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：所述传输机构包括托轮、载片车和传动齿轮，在每个室内在传输方向上设有一组托轮和一组传动齿轮，安装托轮的托轮座固定在每个室的室壁上，所述载片车载于托轮上，所述传动齿轮与载片车上的传动齿条啮合。
6.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在每个室的室壁上设有一至数个工艺输入孔。
7.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在入片室的前端和出片室的后端设有门。
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