[实用新型]一种拾取半导体晶块的工具无效
申请号: | 201020149813.4 | 申请日: | 2010-04-06 |
公开(公告)号: | CN201708140U | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 陈建卫;钱俊有;张文涛;陈磊;赵丽萍;张甜 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/00 |
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地址: | 461500 河南省长*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拾取 半导体 工具 | ||
技术领域
本发明涉及一种操作工具,具体地说是涉及一种拾取半导体晶块的工具。
背景技术
在半导体加工过程中,常常需要将半导体晶块捡起来,目前所使用的工具一般是镊子,由于半导体晶块较小使用镊子就要认真对准,这样就要使用不便的缺点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点,提供一种拾取半导体晶块操作容易的工具。
本发明的技术方案是这样实现的:拾取半导体晶块的工具,包括工具本体,其特征是:工具本体是一个胶制囊腔,囊腔连通有中空的拾取管,拾取管的另一端是拾取头,拾取头具有拾取面,拾取面具有平面结构,拾取面是胶制的,上面具有小孔。
拾取面可以是圆形的或方形的。
为了适用于不同的半导体晶块,拾取头和拾取管活动连接。
本实用新型的有益效果是:这样的拾取半导体晶块的工具具有容易操作、省时省力的效果。
附图说明
图1是本实用新型拾取半导体晶块的工具的结构示意图
其中:1、囊腔 2、拾取管 3、拾取头 4、拾取面 5、小孔
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示,拾取半导体晶块的工具,包括工具本体,其特征是:工具本体是一个胶制囊腔1,囊腔1连通有中空的拾取管2,拾取管2的另一端是拾取头3,拾取头3具有拾取面4,拾取面4具有平面结构,拾取面4是胶制的,上面具有小孔5。
拾取面可以是圆形的或方形的。这样可以分别拾取方形或圆形的晶块。
为了适用于不同的半导体晶块,拾取头和拾取管活动连接。针对不同形状或面积的晶块可以更换拾取头。
使用时,按压囊腔1,将拾取面4对准所拾取的晶块,然后松开囊腔1,晶块就吸附的拾取面4上,非常简单。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造