[实用新型]基板检测设备有效
申请号: | 201020151929.1 | 申请日: | 2010-04-06 |
公开(公告)号: | CN201654182U | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 赵海生;葛兴;卜云龙 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 设备 | ||
1.一种基板检测设备,包括:检测框架,设置于所述检测框架上的测试探针,所述测试探针的连接端与所述检测框架连接,所述测试探针的针头通过与待检测的玻璃基板周边的信号线接触向所述待检测的玻璃基板上形成的TFT像素阵列电路加入检测信号,以及在所述TFT像素阵列电路上方移动、对加入所述检测信号的所述TFT像素阵列电路进行电学检测的检测部件,其特征在于,
所述测试探针朝向所述TFT像素阵列电路倾斜,与所述检测框架呈一锐角,用于增加所述检测部件与所述检测框架间的距离。
2.根据权利要求1所述的基板检测设备,其特征在于,所述测试探针的针头弯折成与所述待检测的玻璃基板平行的形状。
3.根据权利要求1所述的基板检测设备,其特征在于,还包括与所述检测框架相连接的探针套,所述测试探针套设于所述探针套内与所述检测框架连接。
4.根据权利要求1所述的基板检测设备,其特征在于,所述锐角为40-50度。
5.根据权利要求1-4任一所述的基板检测设备,其特征在于,在所述测试探针和所述检测框架呈所述锐角的一侧连接一升降部件,用于弹性适配所述测试探针与所述待检测的玻璃基板周边的所述信号线的接触。
6.根据权利要求5所述的基板检测设备,其特征在于,还包括:
设置于所述升降部件上方、所述检测框架上的位置传感器,用于输出所述检测框架与所述测试探针的针头间的垂直距离值;
警报装置,与所述位置传感器相连接,用于确定所述位置传感器输出的所述垂直距离值的大小范围,并当所述垂直距离值小于第一距离值或大于第二距离值时,发送警报信号;
其中,所述第一距离值为预设的所述测试探针与所述待检测的玻璃基板周边的信号线未接触的距离值,所述第二距离值为预设的所述测试探针与所述待检测的玻璃基板周边的信号线接触过压的距离值。
7.根据权利要求5所述的基板检测设备,其特征在于,还包括:
设置于所述升降部件上方、所述检测框架上的压力传感器,用于输出所述测试探针的针头与所述待检测的阵列基板上周边的所述信号线接触的压力值;
警报装置,与所述位置传感器相连接,用于确定所述压力传感器输出的所述压力值的大小范围,并当所述压力值小于第一压力值或大于第二压力值时,发送警报信号;
其中,所述第一压力值为预设的所述测试探针与所述待检测的玻璃基板周边的信号线未接触的压力值,所述第二压力值为预设的所述测试探针与所述待检测的玻璃基板周边的信号线接触过压的压力值。
8.根据权利要求6或7所述的基板检测设备,其特征在于,所述警报信号为指示灯信号或提示音信号。
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