[实用新型]一种电容式微型麦克风

权利要求书

1.一种电容式微型麦克风，包括基板；其特征是：所述基板上部设有凹槽；所述基板与凹槽的表面均淀积有绝缘支撑层，凹槽内设有振膜；基板对应于淀积绝缘支撑层的表面设置固定连接的背极板，所述背极板与振膜间形成电容结构；所述背极板上设置有若干声孔，所述声孔与凹槽相连通；基板对应于设置振膜的下部设有声腔，所述声腔的深度从基板对应于设置背极板的另一表面延伸到振膜。

2.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述振膜为导电多晶硅。

3.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述背极板与基板通过硅硅键合的方法固定连接。

4.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述振膜与背极板上均淀积有电极，所述振膜、背极板分别与对应的电极电性连接。

5.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述背极板为掺杂的单晶硅。

6.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述背极板对应于与绝缘支撑层相接触的端面设置氧化层。

7.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述绝缘支撑层的材料包括二氧化硅或氮化硅。

8.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述电极的材料包括铝、镉或金。

9.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述声孔的形状为圆形、方形或椭圆形。

10.根据权利要求1所述的电容式微型麦克风，其特征是：所述振膜及对应于所述振膜下方的绝缘支撑层形成声腔的上端面。