[实用新型]化学气相增密炉炉体

权利要求书

1.一种化学气相增密炉炉体，其特征是所述的炉体包括箱体(1)、沿箱体(1)长度方向进出的台车(7)，台车(7)的底部设有进气口(8)，箱体(1)的顶部设有出气口(11)，箱体(1)的两侧即长度方向上安装有发热体(2)，所述箱体(1)的高度与宽度比值为0.6～1.5。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相增密炉炉体，其特征是台车(7)的底板(10)上安装有底板发热体(6)。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相增密炉炉体，其特征是箱体(1)端头及台车(7)端头设有发热体(2)。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种化学气相增密炉炉体，其特征箱体(1)的两侧即长度方向上设置有1对～4对发热体(2)，在箱体(1)内形成1个～4个加热区，台车(7)的底部对应加热区设有1个～4个进气口(8)。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相增密炉炉体，其特征是所述的加热区分别设有温控装置。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种化学气相增密炉炉体，其特征是所述的发热体(2)、底板发热体(6)由石墨或碳/碳复合材料制成，发热体可制成板状，也可由棒或条通过联结块组合成栅栏型。