[实用新型]直立筒式多靶磁控溅射镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，具体涉及一种用于太阳能热发电集热管内管的高吸收膜层镀膜的所述镀膜机。

背景技术

太阳能集热管内管的表面，设置了包括红外反射膜层和吸收膜层等多层复合镀膜层，用以提高其吸收率，降低其发射率，有效提高集热管吸收太阳能热辐射的效率。

对于用于太阳能槽式热发电装备的集热管，鉴于其处于热聚焦线上工作环境的特定技术要求，所述集热管必须具备耐高温、高压、和涂膜层结构稳定，不易开裂、剥落，以及吸收率高和发射率低的特性，而在工业上用于所述集热管表面多层复合镀膜层的镀膜设备，一般采取由若干个镀膜室实施相间反复镀膜的方式。这种方式的已有镀膜机，结构比较复杂，生产效率低，镀膜质量比较难以掌控，很难满足所述集热管内管表面镀膜的生产要求。

发明内容

本实用新型是在由本申请人在前申请的名称为“适用于槽式太阳能热发电的集热管的内管及其镀膜方法”发明专利申请的镀膜机的基础上作进一步改进，而提供一种优化结构，易于掌控，生产效率高，镀膜质量好的直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，以满足槽式太阳能热发电用集热管内管生产的要求。

本实用新型实现其目的的技术方案是：

一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室，镀膜室上盖，镀膜基体件装载组件，镀膜基体件公转驱动装置，镀膜基体件自转驱动装置，设置在镀膜室内且位于镀膜室中央部位的能够旋转的第一金属靶和第二金属靶，设置在镀膜基体件公转轨迹外围的第一中频孪生靶和第二中频孪生靶，抽真空装置，供电调控器以及进排气调控器，其创新点在于，

a、所述镀膜室上盖，在工作状态下与镀膜室顶端密封配装；所述第一金属靶和第二金属靶分别与镀膜室上盖转动连接；在第一金属靶和第二金属靶的顶端，分别设有第一被动传动件，固装在镀膜室上盖上的第一电机，通过设在其输出轴上的主动传动件，与第一被动传动件传动连接；与所述镀膜室内腔连接贯通的进排气管，分别设置在镀膜室上盖上。

b、所述镀膜基体件公转驱动装置，包括设在所述镀膜室内的镀膜基体件装载架，转轴，第二电机，第二主动传动件，和第二被动传动件；所述镀膜基体件装载架，由上圈、下圈，和若干根一端与上圈底面连接，另一端与下圈顶面连接的支撑杆组成；所述上圈设有若干通孔，所述下圈设有与上圈所设通孔等量且相应对的底孔；所述通孔和底孔，分别与镀模基体件转动配装，所述转轴与下圈固定连接；与转轴固定连接的第二被动传动件，与固装在第二电机输出轴上的第二主动传动件传动连接；所述下圈的底面承支在镀膜室的内底平面上，且两者呈面面接触动配合；

由以上所给出的技术方案可以明了，本实用新型由于其采用4个金属靶而可以实施至少5层膜层的复合镀膜，且设置在镀膜室中央的2个金属靶可以自转，加上镀膜基体件或称工件可以公转和自转，因而其镀膜层不但可以镀得很薄(例如＜10nm)，而且可以镀得很均匀，以确保镀膜质量，且通过镀膜室上盖的吊装起闭，而操作自如方便，同时通过供电控制器，可以实现镀膜厚度和镀膜过程的自动控制，因而生产效率高，从而实现了本实用新型的目的。

本实用新型的进一步创新点在于：

为了有效减少所述2个中央金属靶的相互干涉(或称相互影响)，本实用新型还包括分隔板；所述分隔板与镀膜室上盖底面固定连接；圆筒式镀膜室通过分隔板，分隔成左镀膜室和右镀膜室；所述第一金属靶和第二金属靶，分别设在左镀膜室和右镀膜室内，且位于接近镀膜室的中央部位。尽管这种结构，并不能完全实现左、右镀膜室的绝对隔离，但仍可令所述2个中央金属靶的相互干涉，得到大幅度的减少。

本实用新型所包括的镀膜基体件的自转驱动装置，可以有多件驱动结构形式，而本实用新型所主张的镀膜基体件自转驱动装置的结构有以下两种：

第一种所述镀膜基体件自转驱动装置，包括内齿圈和被动齿轮；所述内齿圈与所述镀膜室上口部位内壁固定连接；被动齿轮与设在镀膜基体件装载架的上圈的通孔和下圈的底孔内，且呈转动配合的镀膜基体件的顶端配装固定连接，所述内圈与被动齿轮相啮合；从而构成行星齿轮传动式镀膜基体件自转装置。当镀膜基体件由其公转驱动装置驱动公转时，由内齿圈通过被动齿轮驱动镀膜基体件自转。这种行星齿轮式自转驱动装置，它具有结构相对比较简单，镀膜室内对溅射镀膜产生干扰的另部件少，且镀膜基体件装载也很方便简易等优点。为此，本实用新型予以积极推荐。