[实用新型]基板周转装置

权利要求书

1.一种基板周转装置，用于将衬底从一个位置转移至另一位置，其包括本体，所述本体包括侧壁和基底，所述侧壁与基底围成一呈一侧开口的空间，所述侧壁内部的相对两侧上形成有多条支撑槽，所述支撑槽与所述基底之间具有一夹角，使所述衬底在收容于上述空间后，发生形变的方向保持一致。

2.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述基板周转装置还包括盖体，所述盖体可分离地与所述本体结合在一起，且所述本体和盖体均内部中空，所述盖体和本体结合后，所述盖体和本体的内部中空形成统一的收容空间，上述空间为所述收容空间的一部分。

3.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述侧壁与所述基底之间相互垂直。

4.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述多条支撑槽之间相互平行，且所述两侧的支撑槽数目相同，所述支撑槽沿所述基底至侧壁的方向，且所述两侧的多条支撑槽一一对应，分位于所述两侧相对应的两条支撑槽用于夹持同一所述衬底。

5.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述支撑槽与所述基底之间的夹角在70度至90度之间。

6.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述支撑槽在所述侧壁上的长度小于所述衬底在该侧壁上的所述支撑槽方向上的长度，使所述衬底装载于所述本体上后，所述衬底有部分露出于所述本体之外。

7.如权利要求1所述的基板周转装置，其特征在于：所述基板周转装置还包括盖体，所述盖体也包括侧壁和基底，所述盖体的侧壁中的两相对的侧壁上形成有与所述本体上的支撑槽对应的支撑槽，且所述盖体上的支撑槽与所述本体上的支撑槽一并用于限制所述衬底。

8.如权利要求7所述的基板周转装置，其特征在于：所述基板周转装置整体呈方形，所述本体和盖体亦呈方形，所述本体和盖体相结合出设有卡合结构。