[实用新型]石英盘提升工具有效
申请号: | 201020200952.5 | 申请日: | 2010-05-21 |
公开(公告)号: | CN201729567U | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 李文;丁振宇;金伟;刘志攀 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | B66C1/22 | 分类号: | B66C1/22 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 提升 工具 | ||
1.一种石英盘提升工具,其特征在于,包括至少两根竖向的支撑腿,所述支撑腿的上部通过若干连接杆连接成一体,所述连接杆上设有用于与起升机构连接的连接部,所述支撑腿的下部内侧分别设有托板,所述托板用于托住所述石英盘。
2.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿圆周均布。
3.如权利要求1或2所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿有四根。
4.如权利要求3所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述四根支撑腿通过十字相交的两根连接杆连接,所述连接部设置在所述两根连接杆的相交处。
5.如权利要求4所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述连接部是吊环。
6.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿和连接杆可调节式连接。
7.如权利要求6所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述连接杆的端部设有一排调节用螺孔,所述支撑腿的上部设有具有螺孔的连接套,所述连接杆的端部穿套于所述连接套内,通过螺钉将连接套锁定在连接杆的端部。
8.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述托板和支撑腿可调节式连接。
9.如权利要求8所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿的下部设有一排调节用螺孔,所述托板的外侧端固设有具有螺孔的连接套,所述支撑腿的下部穿套于所述连接套内,通过螺钉将连接套锁定在所述支撑腿的下部。
10.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿有三根。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020200952.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种气液分离结构
- 下一篇:一种治疗前列腺炎的中药制剂