[实用新型]石英盘提升工具有效

专利信息
申请号: 201020200952.5 申请日: 2010-05-21
公开(公告)号: CN201729567U 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 李文;丁振宇;金伟;刘志攀 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: B66C1/22 分类号: B66C1/22
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 石英 提升 工具
【权利要求书】:

1.一种石英盘提升工具,其特征在于,包括至少两根竖向的支撑腿,所述支撑腿的上部通过若干连接杆连接成一体,所述连接杆上设有用于与起升机构连接的连接部,所述支撑腿的下部内侧分别设有托板,所述托板用于托住所述石英盘。

2.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿圆周均布。

3.如权利要求1或2所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿有四根。

4.如权利要求3所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述四根支撑腿通过十字相交的两根连接杆连接,所述连接部设置在所述两根连接杆的相交处。

5.如权利要求4所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述连接部是吊环。

6.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿和连接杆可调节式连接。

7.如权利要求6所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述连接杆的端部设有一排调节用螺孔,所述支撑腿的上部设有具有螺孔的连接套,所述连接杆的端部穿套于所述连接套内,通过螺钉将连接套锁定在连接杆的端部。

8.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述托板和支撑腿可调节式连接。

9.如权利要求8所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿的下部设有一排调节用螺孔,所述托板的外侧端固设有具有螺孔的连接套,所述支撑腿的下部穿套于所述连接套内,通过螺钉将连接套锁定在所述支撑腿的下部。

10.如权利要求1所述的石英盘提升工具,其特征在于,所述支撑腿有三根。

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