[实用新型]石英盘提升工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英盘提升工具。

背景技术

现有，当需要对刻蚀腔进行维护时，必须先将石英盘移离刻蚀上腔室。现在这种搬运石英盘的工作是通过操作人员手动完成。然而，由于石英盘非常重，因此通过人力将石英盘从刻蚀上腔室内搬走非常困难，石英盘容易因操作人员握持不住而发生碰撞和损伤现象，以致于石英盘的表面受损变粗，甚至裂开，这都将对其后的晶片加工产生不良影响，容易使晶片在刻蚀过程中受到粗糙石英盘表面的磨损和冲击，从而降低了晶片的良率。

因此，如何提供一种石英盘提升工具，可以实现平稳移动石英盘，以防止石英盘在移动过程中受到损伤，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英盘提升工具，石英盘通过该石英盘提升工具与起升机构连接，从而可以借助起升机构实现石英盘的平稳移动，防止石英盘在移动过程中受到损伤。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种石英盘提升工具，包括至少两根竖向的支撑腿，所述支撑腿的上部通过若干连接杆连接成一体，所述连接杆上设有用于与起升机构连接的连接部，所述支撑腿的下部内侧分别设有托板，所述托板用于托住所述石英盘。

在上述的石英盘提升工具中，所述支撑腿圆周均布。

在上述的石英盘提升工具中，所述支撑腿有四根。

在上述的石英盘提升工具中，所述四根支撑腿通过十字相交的两根连接杆连接，所述连接部设置在所述两根连接杆的相交处。

在上述的石英盘提升工具中，所述连接部是吊环。

在上述的石英盘提升工具中，所述支撑腿和连接杆可调节式连接。

在上述的石英盘提升工具中，所述连接杆的端部设有一排调节用螺孔，所述支撑腿的上部设有具有螺孔的连接套，所述连接杆的端部穿套于所述连接套内，通过螺钉将连接套锁定在连接杆的端部。

在上述的石英盘提升工具中，所述托板和支撑腿可调节式连接。

在上述的石英盘提升工具中，所述支撑腿的下部设有一排调节用螺孔，所述托板的外侧端固设有具有螺孔的连接套，所述支撑腿的下部穿套于所述连接套内，通过螺钉将连接套锁定在所述支撑腿的下部。

在上述的石英盘提升工具中，所述支撑腿有三根。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型石英盘提升工具，通过该石英盘提升工具使得石英盘和起升机构有效连接，从而可以借助起升机构实现石英盘的平稳移动，从而防止石英盘在移动过程中受到损伤。另外，通过采用该石英盘提升工具，可以借助起升机构来移动石英盘，因此，可以减轻了操作人员移动石英盘的工作强度，提高了效率。

附图说明

本实用新型的石英盘提升工具由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型石英盘提升工具的结构示意图；

图2是石英盘提升工具的使用示意图；

图中，1-提升工具、11-支撑腿、12-连接杆、121-吊环、13-托板、14-连接套、15-螺孔、16-螺钉、2-石英盘、3-吊钩。

具体实施方式

以下将对本实用新型的石英盘提升工具作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想：采用石英盘提升工具，可以将石英盘和起升机构有效连接，从而借助起升机构实现石英盘的平稳移动，防止石英盘在移动过程中受到损伤。另外，通过采用该石英盘提升工具和起升机构，可以减轻了操作人员移动石英盘的工作强度，提高了生产效率。