[实用新型]一种研磨液存储装置及研磨液供应系统

权利要求书

1.一种研磨液存储装置，其特征在于，包括存储器和支撑底座，所述存储器的底座为锥形，所述支撑底座用于支撑放置所述存储器，所述支撑底座与所述存储器的接触面为与所述存储器底座形状相适应的V形截面。

2.一种采用如权利要求1所述的研磨液存储装置的研磨液供应系统，包括研磨液存储装置、研磨液供应管道、泵、研磨液供给口和研磨液回流管道，所述泵设置于所述研磨液供应管道上，所述研磨液供应管道的第一端及所述研磨液回流管道的第一端连接所述研磨液供给口，其特征在于，所述研磨液供应管道的第二端及所述研磨液回流管道的第二端连接所述研磨液存储装置内的存储器。

3.如权利要求2所述的研磨液供应系统，其特征在于，还包括将研磨液分配到研磨机台的分配管道，所述分配管道连接所述研磨液供给口。

4.如权利要求3所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述分配管道为多个。

5.如权利要求2所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液存储装置为多个，所述研磨液供应管道的第二端和所述研磨液回流管道的第二端连接至所述多个研磨液存储装置中。

6.如权利要求2至5中任一权利要求所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液供应管道的第二端连接至所述研磨液存储装置内的存储器的底部。

7.如权利要求2至5中任一权利要求所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液回流管道的第二端连接所述研磨液存储装置内的存储器的顶部。