[实用新型]双层膜厚均匀性修正板驱动装置

权利要求书

1.一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，包括安装法兰、修正板和驱动单元，其特征在于：所述驱动单元有两组，分别安装在安装法兰的上部和下部；每组驱动单元包括安装底座、驱动气缸、导轨、轴承座、关节轴承、连接杆、旋转臂和修正板安装杆；

所述安装底座、驱动气缸和导轨均固定在安装法兰上，所述轴承座固定在安装底座上，而且驱动气缸的动力臂、导轨及轴承座均位于安装法兰的内侧，驱动气缸的外壳与安装法兰密封接合，所述导轨的轴线平行于驱动气缸的动力臂；

所述关节轴承固定在驱动气缸的动力臂上；

所述连接杆的一端与关节轴承枢接，其枢转轴线为第一枢转轴线，另一端与旋转臂枢接，其枢转轴线为第二枢转轴线，所述旋转臂与轴承座枢接，其枢转轴线为第三枢转轴线；所述第一、第二、第三枢转轴线相互平行，且垂直于驱动气缸的动力臂；

所述修正板安装杆经一角度调整块固定在旋转臂上，所述修正板有两块，分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆上；

所述关节轴承上装有导轮，所述导轮的轴线平行于第一轴线，其轮面与导轨的轨面相切。

2.根据权利要求1所述的双层膜厚均匀性修正板驱动装置，其特征在于：所述安装底座上设有用于限定两组驱动单元的旋转臂枢转角度的限位调整螺钉。

3.根据权利要求1所述的双层膜厚均匀性修正板驱动装置，其特征在于：所述角度调整块上设有定位槽，所述修正板安装杆经定位槽与角度调整块固接。

4.根据权利要求1所述的双层膜厚均匀性修正板驱动装置，其特征在于：所述安装法兰的内壁，及旋转臂的正下方、连接杆的正下方、导轨的正下方均安装有防污板。