[实用新型]双层膜厚均匀性修正板驱动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜的技术，特别是涉及一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置的技术。

背景技术

真空镀膜是将固体材料置于真空室内，在真空条件下，将固体材料加热蒸发，使其吸附在基板的表面上形成一层薄膜。

在真空镀膜中，为得到均匀的膜厚分布，通常应用工件架旋转和修正板技术来解决膜厚在圆周上和径向上的分布问题。现有的膜厚控制装置在同一蒸发源位置对单一材料进行蒸发时，通过控制单层修正板对膜厚进行修正，即可有效控制膜厚分布，但是在同一蒸发源位置对两种材料进行蒸发时，由于材料的蒸发特性不同，单层修正板就难以兼顾，而且在镀膜过程中也不可能打开真空镀膜机的真空腔体更换修正板，因此现有的膜厚控制装置在同一蒸发源位置对两种材料进行蒸发时，控制膜厚分布的效果较差。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能在同一蒸发源位置对两种材料进行蒸发时，有效控制膜厚分布的双层膜厚均匀性修正板驱动装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型所提供的一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，包括安装法兰、修正板和驱动单元，其特征在于：所述驱动单元有两组，分别安装在安装法兰的上部和下部；每组驱动单元包括安装底座、驱动气缸、导轨、轴承座、关节轴承、连接杆、旋转臂和修正板安装杆；

所述安装底座、驱动气缸和导轨均固定在安装法兰上，所述轴承座固定在安装底座上，而且驱动气缸的动力臂、导轨及轴承座均位于安装法兰的内侧，驱动气缸的外壳与安装法兰密封接合，所述导轨的轴线平行于驱动气缸的动力臂；

所述关节轴承固定在驱动气缸的动力臂上；

所述连接杆的一端与关节轴承枢接，其枢转轴线为第一枢转轴线，另一端与旋转臂枢接，其枢转轴线为第二枢转轴线，所述旋转臂与轴承座枢接，其枢转轴线为第三枢转轴线；所述第一、第二、第三枢转轴线相互平行，且垂直于驱动气缸的动力臂；

所述修正板安装杆经一角度调整块固定在旋转臂上，所述修正板有两块，分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆上；

所述关节轴承上装有导轮，所述导轮的轴线平行于第一轴线，其轮面与导轨的轨面相切。

进一步的，所述安装底座上设有用于限定两组驱动单元的旋转臂枢转角度的限位调整螺钉。

进一步的，所述角度调整块上设有定位槽，所述修正板安装杆经定位槽与角度调整块固接。

进一步的，所述安装法兰的内壁，及旋转臂的正下方、连接杆的正下方、导轨的正下方均安装有防污板。

本实用新型提供的双层膜厚均匀性修正板驱动装置，通过两组驱动单元分别控制两个修正板的开闭，可根据镀膜状况控制两个修正板同时开启，或同时关闭，或控制其中一个修正板开启，同时控制另一个修正板关闭，因此能在同一蒸发源位置对两种材料进行蒸发时，分别修正两种材料的膜厚均匀性，有效控制膜厚分布。

附图说明

图1是本实用新型实施例的双层膜厚均匀性修正板驱动装置的主视立体图；

图2是本实用新型实施例的双层膜厚均匀性修正板驱动装置的主视图。

具体实施方式

以下结合附图说明对本实用新型的实施例作进一步详细描述，但本实施例并不用于限制本实用新型，凡是采用本实用新型的相似结构及其相似变化，均应列入本实用新型的保护范围。

如图1-图2所示，本实用新型实施例所提供的一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，包括安装法兰2、修正板18和驱动单元，其特征在于：所述驱动单元有两组，分别安装在安装法兰2的上部和下部；每组驱动单元包括安装底座13、驱动气缸1、导轨6、轴承座14、关节轴承4、连接杆8、旋转臂9和修正板安装杆11；

所述安装底座13、驱动气缸1和导轨6均固定在安装法兰2上，所述轴承座14固定在安装底座13上，而且驱动气缸1的动力臂、导轨6及轴承座14均位于安装法兰2的内侧，驱动气缸1的外壳经一O形密封圈与安装法兰2接合，所述导轨6的轴线平行于驱动气缸1的动力臂；

所述关节轴承4螺纹连接驱动气缸1的动力臂，并通过一锁紧螺母锁紧固定在驱动气缸1的动力臂上；

所述连接杆8的一端与关节轴承4枢接，其枢转轴线为第一枢转轴线，另一端与旋转臂9枢接，其枢转轴线为第二枢转轴线，所述旋转臂9与轴承座14枢接，其枢转轴线为第三枢转轴线；所述第一、第二、第三枢转轴线相互平行，且垂直于驱动气缸1的动力臂；

所述修正板安装杆11经一角度调整块10固定在旋转臂9上，所述修正板18有两块，分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆11上；