[实用新型]应用于预真空腔室托盘的销

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种紧固件，尤其涉及一种销。

背景技术

半导体生产领域内，在化学气相沉积机台左边的一个预真空腔室内设有用于吸附晶圆的托盘1，请参阅图1-3，图1是现有的销与托盘的销孔相配合的俯视示意图；图2是图1的A-A剖视图；图3是现有的销的结构示意图。所述托盘1内设有若干销孔2，所述销孔2内设有塑料销3。所述销孔2是设于托盘1内的阶梯孔，所述阶梯孔由位于上方的大孔和位于下方的小孔组成，所述大孔和小孔同心。所述销3也分成上下两部分。销3的上部的外径与所述大孔的内径相配合。销3的下部的外径与所述小孔的内径相配合。

然而，在使用中发现，在预真空腔室用去离子水清洗过程中和抽真空的过程中，塑料销3与金属托盘1之间的摩擦往往会导致销3在托盘1上升下降的过程中向上凸起，向上外凸的销3极易损伤托盘1上的晶圆，导致晶圆边缘有缺角而发生破片现象，造成产品的良率下降。而且在检修的过程中，造成机台的长时间停运，以致造成相当大的经济损失。

因此，如何提供一种可以防止销向上凸起的应用于预真空腔室托盘的销是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于预真空腔室托盘的销，通过在销的下部增设O形圈来阻止销在使用过程中向上凸起，从而保护托盘中的晶圆。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种应用于预真空腔室托盘的销，所述销设置于所述托盘的销孔内，所述销的外壁与销孔的内壁相配合，所述销的下部伸出销孔的部分沿周向设有用于置放O形圈的凹槽。

在上述的应用于预真空腔室托盘的销中，所述O形圈的外径大于销孔的内径。

在上述的应用于预真空腔室托盘的销中，所述销通过一体成型制造。

在上述的应用于预真空腔室托盘的销中，所述销孔是由位于上方的大孔和位于下方的小孔连接组成的同心阶梯孔，所述销的上部31的外径与大孔的内径相配合，所述销的下部的外径与小孔的内径相配合。

在上述的应用于预真空腔室托盘的销中，所述销采用陶瓷材料。

在上述的应用于预真空腔室托盘的销中，所述O形圈是采用橡胶材料。

本实用新型应用于预真空腔室托盘的销，结构简单，使用方便，通过在销的下部增设O形圈来阻止销在使用过程中向上凸起，来避免由于销上凸所造成的晶圆破片的风险，从而，有效地保护了晶圆的完整性，提高了产品的良率和生产效率。

附图说明

本实用新型的应用于预真空腔室托盘的销由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的销与托盘的销孔相配合的俯视示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是现有的销的结构示意图；

图4是本实用新型的销与托盘的销孔相配合的结构剖视图；

图5是本实用新型应用于预真空腔室托盘的销的结构示意图；

图6是托盘中的销孔的结构示意图；

图7是销应用于托盘的整体示意图。

图中，1-托盘、2-销孔、21-大孔、22-小孔、3-销、31-销的上部，32-销的下部，321-凹槽、4-O形圈。

具体实施方式

以下将对本实用新型的应用于预真空腔室托盘的销作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图4-7，图4是本实用新型的销与托盘的销孔相配合的结构剖视图；图5是本实用新型应用于预真空腔室托盘的销的结构示意图；图6是托盘中的销孔的结构示意图；图7是销应用于托盘的整体示意图。

这种应用于预真空腔室托盘的销，所述销3设置于所述托盘1的销孔2内，所述销3的外壁与销孔2的内壁相配合。