[实用新型]多晶硅棒破碎设备

权利要求书

1.一种多晶硅棒破碎设备，其特征在于，包括：

急冷装置；

与所述急冷装置相连的加热装置，所述加热装置通过设在其内的传动机构将加热后的多晶硅棒传送到所述急冷装置内急速冷却。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括：与所述加热装置相连的、控制所述加热装置温度的加热温度控制装置。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，还包括：与所述加热装置相连的、对所述加热装置内的气体置换的真空及惰性气体置换装置。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，还包括：与所述急冷装置相连的、控制所述急冷装置冷却速率的冷却速率控制装置。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述加热装置还包括：

设有底盖的工作仓，所述工作仓内装有与传动机构相连的物料托盘，内壁上设有与所述加热温度控制装置相连的电发热体，内壁和外壁之间设有保温层；

所述工作仓的底盖与传动机构相连，并且与所述物料托盘分别位于所述传动机构的两侧。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述真空及惰性气体置换装置包括：

通过抽气阀与所述工作仓相连的抽空单元；

分别与所述工作仓的两侧相连的充气阀和流通阀。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述急冷装置包括：

内壁上装有风机的急冷仓；

设在所述急冷仓外壁上的安全阀。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述冷却速率控制装置包括：

与所述急冷仓相连的冷却速率控制单元；

分别连接在所述急冷仓两侧的进水阀和出水阀。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，还包括：与传动机构相连 的电机。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，还包括：

与所述加热温度控制装置、所述抽空单元、所述冷却速率控制单元和所述电机相连的开/关控制装置。