[实用新型]18对棒多晶硅还原炉有效
申请号: | 201020215626.1 | 申请日: | 2010-06-04 |
公开(公告)号: | CN201713325U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 王姗 | 申请(专利权)人: | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610015 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 18 多晶 还原 | ||
1.18对棒多晶硅还原炉,包括底盘和炉体,在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出口,底盘上配有电极、进气口和排气口,底盘与炉体采用紧固件连接,炉体上设有用于观察和测量温度的视孔,其特征在于还原炉内壁有一层厚度为2-3mm的光滑的银层,底盘上有18对用于生成硅棒的电极。
2.根据权利要求1所述的18对棒多晶硅还原炉,其特征在于18对电极在底盘上分二圈在360°上均布,内圈为6对电极,外圈为12对电极,底盘上位于两圈电极之间在360°上均匀分布3个进气喷嘴,底盘中心设有还原尾气的排气口。
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