[实用新型]18对棒多晶硅还原炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产多晶硅用的还原炉，特别是一种以提高单炉的产量和降低能耗为目的大对棒数多晶硅还原炉。

背景技术

多晶硅还原炉是生产多晶硅原料的关键设备，同时又是一个高耗能的设备。因此，还原炉的设计和制造，直接影响到产品的产量、质量和生产成本。随着多晶硅市场的竟争日趋激烈，要求多晶硅生产必须做到充分利用生产资料，提高生产效率、降低生产成本，为多晶硅生产企业提高产量、质量、节省投资显得尤为重要。

现有的多晶硅还原炉结构由底盘、炉体组成，炉子主体采用不锈钢材料。底盘上设置电极、进气口和还原尾气排气口。从节能降耗、提高产品质量、降低生产成本考虑，其炉子结构有待进一步完善。

发明内容

本实用新型的目的是为了进一步提高产品质量和节能降耗，对现有多晶硅还原炉进行优化设计，提供一种具有显著节能降耗效果和提高产品质量的多晶硅还原炉。

本实用新型的结构特点实现了上述设计目的。本实用新型是一种18对棒多晶硅还原炉，由底盘和炉体构成，在炉体和底盘上设有冷却水腔和冷却水进出口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，其特征在于：还原炉内壁有一层厚度为2-3mm的光滑的银层，底盘上有18对用于生成硅棒的电极。

上述设置的18对电极在底盘上分二圈在360°上均布：内圈为6对电极，外圈为12对电极，底盘上在两圈电极之间间隔120°均匀分布3个进气喷嘴，底盘中心设有还原尾气的出气口。

本实用新型由于采用了在炉内壁和底盘内侧设置光滑的银层，均匀设置进气喷嘴，使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分，并利用银的化学特性和良好的加工性，以及抛光后的镜面效果，在生产出纯度更高的多晶硅产品的同时，大幅度降低了能耗，从而显著降低了多晶硅的生产成本。

附图说明

图1是本18对棒多晶硅还原炉的外观示意图。

图2是炉子底盘电极、进气喷嘴和排气口分布示意图。

实施例1

如图所示，本实用新型是一种18对棒多晶硅还原炉，由底盘9和炉体5构成，底盘与炉体采用法兰盘8连接。炉体5上设有冷却水腔夹套7，底盘9上也设有冷却水腔夹套，夹套上设有冷却水进出口。炉体5上设有9个用于观察和测量温度的视孔4，分上、中、下三层120°均布；还原炉内壁有一层光滑的银层3，厚度2-3mm。底盘上设置有18对电极10，在底盘上分二圈分布：内圈为6对电极，外圈为12对电极；炉子下部有进气管道2与底盘上的3个进气喷嘴11连通，3个进气喷嘴在底盘上的二圈电极之间间隔120°均匀分布，底盘中心设有还原尾气的出气口1。