[实用新型]一种避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩有效
| 申请号： | 201020216107.7 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201729875U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 避免 pvd 腔室中 射频 热辐射 泄漏 护罩 | ||
1.一种避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，所述保护罩用于罩住所述PVD腔室的观察窗口，其特征在于，包括：
第一卡持部，其包括第一上侧壁、第一下侧壁以及第一连接部，所述第一上侧壁中形成有多个开孔，所述第一上侧壁和所述第一下侧壁在交界处形成第一卡持线，所述第一连接部分别形成于所述第一上侧壁和所述第一下侧壁的两端；
第二卡持部，其包括第二上侧壁、第二下侧壁以及第二连接部，所述第二上侧壁中形成有多个开孔，所述第二上侧壁和所述第二下侧壁在交界处形成第二卡持线，所述第二连接部分别形成于所述第二上侧壁和所述第二下侧壁的两端；
被卡持板，其边缘卡持在所述第一卡持线和所述第二卡持线，
其中，所述第一连接部和所述第二连接部配合使用以使得所述第一卡持部和所述第二卡持部连接成闭合状，所述第一卡持部与所述被卡持板活动连接。
2.如权利要求1所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述第二卡持部与所述被卡持板固定连接。
3.如权利要求1所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述第二卡持部与所述被卡持板活动连接。
4.如权利要求1～3中任一项所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述第一连接部为卡扣，所述第二连接部为卡槽。
5.如权利要求1～3中任一项所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述第一连接部为卡槽，所述第二连接部为卡扣。
6.如权利要求1所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述被卡持板为圆形。
7.如权利要求1所述的避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，其特征在于，所述保护罩的材料为不锈钢。
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