[实用新型]柔性透明电磁屏蔽膜有效
申请号: | 201020218350.2 | 申请日: | 2010-06-04 |
公开(公告)号: | CN201718163U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 曾鸿斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市海森应用材料有限公司 |
主分类号: | H05K9/00 | 分类号: | H05K9/00;B32B15/04;B32B15/20;B32B27/06 |
代理公司: | 深圳市睿智专利事务所 44209 | 代理人: | 陈鸿荫;郭文姬 |
地址: | 518108 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 透明 电磁 屏蔽 | ||
1.一种柔性透明电磁屏蔽膜,其特征在于:包括PET基底层和电磁屏蔽层,所述电磁屏蔽层包括在所述PET基底层上依次连续磁控溅射沉积的Nb2O5层、Ag层、ZAO层以及Nb2O5层,Nb2O5层作为介质层,Ag层作为导电层,ZAO层作为过渡介质层。
2.如权利要求1所述的柔性透明电磁屏蔽膜,其特征在于:所述电磁屏蔽层包括10-13层,其中Ag层不少于三层,底层和外层均是Nb2O5层。
3.如权利要求2所述的柔性透明电磁屏蔽膜,其特征在于:所述Nb2O5底层和外层的厚度为28-35nm,Nb2O5中间层厚度为56-70nm,Ag层厚度为10-18nm,ZAO层厚度为3-5nm。
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